[发明专利]一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺

权利要求书

1.一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺，其特征在于：将氯硅烷渣浆液输送至固液分离装置进行固液分离，得到液相物料和氯硅烷渣浆液；然后所述氯硅烷渣浆液进入洗涤装置，通过含羟基溶剂和/或稳定剂对所述氯硅烷渣浆液洗涤，得到液相物料和固相物料，将两次液相物料中的氯硅烷进行回收。

2.根据权利要求1所述的一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺，其特征在于：所述的含羟基溶剂是分子式为C_xH_y(OH)_z，x＝1～12,y＝3～26,z＝1～6的含有官能团-OH的溶剂；所述的稳定剂是分子式为C_xH_yO_z，x＝4～18,y＝6～38,z＝0～6的有机物，可以是烷烃、环烷烃、苯类或醚类。

3.根据权利要求1所述的一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺，其特征在于：所述固液分离为两级或者多级固液分离，所述洗涤分为两级或者多级洗涤。

4.根据权利要求1所述的一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺，其特征在于：所述固液分离得到的液相物料进入第一精馏塔进行精馏提纯，与高沸物分离，得到主要含有四氯化硅、三氯氢硅的氯硅烷。

5.根据权利要求1或4所述的一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺，其特征在于：所述洗涤得到的液相物料进入第二精馏塔进行精馏提纯，与高沸物和所述含羟基溶剂和/或稳定剂分离，得到主要含有四氯化硅、三氯氢硅的氯硅烷。

6.根据权利要求5所述的一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺，其特征在于：所述主要含有四氯化硅、三氯氢硅的氯硅烷进入反应精馏系统，再加入所述稳定剂和/或含羟基溶剂，得到含氯化氢的气相物料和有机硅粗品，最后通过精制塔分离，得到有机硅。

7.根据权利要求6所述的一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺，其特征在于：所述反应精馏系统与氯化氢纯化系统连通；所述反应精馏系统出来的气相物料进入所述氯化氢纯化系统，所述气相物料中的氯化氢通过四氯化硅将其中的杂质除去后得到纯化，回用多晶硅生产系统。

8.根据权利要求5所述的一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺，其特征在于：所述第二精馏塔得到的高沸物和所述含羟基溶剂和/或稳定剂通过第二蒸发釜分离，高沸物与所述第一精馏塔中的高沸物一同排出，所述含羟基溶剂和/或稳定剂回用到所述洗涤装置。

9.根据权利要求1所述的一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺，其特征在于：所述洗涤装置得到的固相物料与所含液体进入固液分离器进行分离，同时加入含羟基溶剂，分离完成后得到固相物料和液相物料；所述固相物料为硅粉铜的混合物，转移回收；所述液相物料进入第一蒸发釜，蒸发回收含羟基溶剂回用到所述固液分离器，釜底液排入三废处理装置进行处理。