[发明专利]清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法

说明书

一种清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法，能高效可靠地清扫薄板表面。清扫系统去除附着于薄板表面的异物，包括：输送薄板的输送装置；以及清扫装置，具有与通过输送装置输送的薄板表面对置地配置的清扫部，清扫装置包括相对移动机构，该相对移动机构在为了清扫而使清扫部直接或间接地接触于薄板表面的状态下使清扫部反复进行与薄板表面相对的相对性的静止动作和移动动作。优选输送装置向一方向输送利用清扫装置的清扫状态的薄板表面，相对移动机构交替地反复进行一方向的移动动作以及相反方向的移动动作，在移动动作中，由相对移动机构移动的清扫部移动的最大移动速度比由输送装置输送的薄板表面的移动速度快。

技术领域

本发明涉及清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法。

背景技术

在便携电话、智能电话等电子设备中，使用玻璃基板。在电子设备的生产线中，作为对玻璃基板的表面进行清扫的清扫系统，已知有例如日本特开2006－272223号公报所记载的清扫系统。该公报所记载的系统为，在刮板上覆盖织物，一边通过刮板将织物(cloth)按压到玻璃基板上一边使玻璃基板移动，由此对玻璃基板的表面进行清扫。在该公报所记载的系统中，反复进行3次使刮板从玻璃基板的一端向另一端相对移动的动作。

专利文献1：日本特开2006－272223号公报

但是，当在玻璃基板的表面上附着有粘接剂等那样粘性较高的异物的情况、油等附着于玻璃基板的中央的情况下，存在如上述公报所记载的系统那样仅通过3次擦除也不能擦除的情况。

另外，在上述公报所记载的系统中，在将刮板从玻璃基板的一端向另一端相对移动后，为了下一擦除动作，再次将刮板返回到玻璃基板的一端后进行擦除动作，所以作业效率较差，为了对大量的玻璃基板进行擦除作业，需要非常长的时间。

发明内容

因此，本发明的技术问题在于提供一种能够高效可靠地清扫薄板表面的清扫系统及清扫方法以及电子设备的制造方法。

为了解决上述技术问题而完成的发明是一种清扫系统，将附着于薄板表面的异物去除，该清扫系统包括：

输送装置，输送所述薄板；以及

清扫装置，具有与通过所述输送装置输送的所述薄板表面对置地配置的清扫部，

所述清扫装置包括相对移动机构，所述相对移动机构在为了清扫而使所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下使所述清扫部反复进行相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作。

在该清扫系统中，通过所述相对移动机构，在所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下反复进行所述清扫部相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作，所以能够通过清扫部高效且可靠地去除薄板表面的异物。即，在该清扫系统中，相对于薄板表面，清扫部不仅进行相对性的移动动作还进行静止动作，所以不仅能够通过动摩擦进行异物的去除还能够通过静摩擦进行异物的去除，能够可靠地去除薄板表面的异物。在这里，所谓直接，意味着接触面直接接触于薄板而进行擦除，在清扫部为适于擦除薄板的构成的情况下，清扫部直接地接触于薄板而进行擦除。所谓间接，意味着在接触面与薄板之间配置有织物构件等1或多个另外的构件那样的情况，在接触面不是适于擦除薄板的构成的情况下等，清扫部间接地接触于薄板而擦除。

优选所述输送装置向一方向输送由所述清扫装置清扫的清扫状态的所述薄板表面。由此，能够一边通过输送装置向一方向输送薄板一边通过清扫装置对薄板的表面进行清扫。

在该情况下，优选所述相对移动机构在所述移动动作时使所述清扫部相对于所述薄板表面向所述一方向或者向所述一方向以及所述一方向的相反方向移动。通过使清扫部向所述一方向以与薄板相同速度移动，能够得到所述清扫部的静止动作，能够通过静摩擦进行异物的去除。另外，通过使清扫部向所述一方向的相反方向移动，清扫部与薄板的相对速度变快，能够有效且可靠地去除薄板表面的异物。