[发明专利]合金材料组、CIGS靶材、CIGS薄膜及太阳能电池

权利要求书

1.一种用于蒸镀的CIGS靶材，其特征在于，所述CIGS靶材的材料包括合金材料组，所述合金材料组包括三种合金材料，成分分别为：第一合金材料：Cu(0.01～1.0)In(0.01～1.0)Ga(0.01～1.0)Se(0.01～3.0)；第二合金材料：Cu(0.01～2.0)In(0～1.0)Ga(0～1.0)Se(0.01～3.0)；第三合金材料：Cu(0.01～2.0)In(0.01～1.5)Ga(0.01～1.0)Se(0.01～3.0)；所述CIGS靶材至少包括第一合金靶材、第二合金靶材和第三合金靶材，所述第一合金靶材的材料包括所述第一合金材料，所述第二合金靶材的材料包括所述第二合金材料，所述第三合金靶材的材料包括所述第三合金材料。

2.根据权利要求1所述的CIGS靶材，其特征在于，所述第一合金靶材、第二合金靶材和第三合金靶材沿第一方向的长度均为1m～5m。

3.根据权利要求2所述的CIGS靶材，其特征在于，所述第一合金靶材沿所述第一方向的长度大于所述第二合金靶材及所述第三合金靶材沿所述第一方向的长度。

4.根据权利要求1所述的CIGS靶材，其特征在于，所述第一合金靶材、第二合金靶材和第三合金靶材沿第一方向依次排列。

5.根据权利要求1所述的CIGS靶材，其特征在于，每一靶材的纯度均大于或等于99.99％。

6.根据权利要求1所述的CIGS靶材，其特征在于，所述第一合金靶材和/或所述第三合金靶材中还包括碱金属元素，所述碱金属元素在所述第一合金靶材或所述第三合金靶材中的质量分数为0.01％～0.1％。

7.根据权利要求1所述的CIGS靶材，其特征在于，所述三种合金材料的成分分别为：第一合金材料：Cu(0.01～0.5)In(0.01～0.5)Ga(0.5～1.0)Se(0.01～3.0)；第二合金材料：Cu(1.0～2.0)In(0～0.5)Ga(0～0.5)Se(0.01～3.0)；第三合金材料：Cu(0.01～0.5)In(0.5～1.5)Ga(0.5～1.0)Se(0.01～3.0)。

8.根据权利要求1所述的CIGS靶材，其特征在于，所述第二合金材料中不含有Ga元素。

9.根据权利要求1所述的CIGS靶材，其特征在于，所述第二合金材料中不含有In元素。

10.根据权利要求1所述的CIGS靶材，其特征在于，所述三种合金材料的成分分别为：第一合金材料：Cu0.1In0.3Ga1.0Se0.5；第二合金材料：Cu2.0Se0.5；第三合金材料：Cu0.1In0.5Ga1.0Se0.5。

11.一种CIGS薄膜，其特征在于，由权利要求1～10任一项所述的CIGS靶材蒸镀得到，所述CIGS薄膜包括依次层叠设置的第一薄膜层、第二薄膜层和第三薄膜层，通过依次蒸镀所述第一合金靶材、所述第二合金靶材和所述第三合金靶材得到。

12.根据权利要求11所述的CIGS薄膜，其特征在于，所述第一薄膜层的能带间隙的范围为1.3eV～1.5eV，所述第二薄膜层的能带间隙的范围为0.9eV～1.1eV，所述第三薄膜层的能带间隙范围的为1.1eV～1.3eV。

13.根据权利要求12所述的CIGS薄膜，其特征在于，所述第一薄膜层的能带间隙为1.4V，所述第二薄膜层的能带间隙为1.0V，所述第三薄膜层的能带间隙为1.2eV。

14.根据权利要求11所述的CIGS薄膜，其特征在于，所述第一薄膜层的成分为CuIn0.5Ga0.5Se2；所述第二薄膜层的成分为CuInSe2，所述第三薄膜层的成分为CuIn0.8Ga0.2Se2。