[发明专利]CIGS玻璃基板镀膜清洗系统有效
申请号: | 201810723712.4 | 申请日: | 2018-07-04 |
公开(公告)号: | CN108906766B | 公开(公告)日: | 2023-02-24 |
发明(设计)人: | 李延平;陈坤;张荣松;高雪嵩;顾金茂;杨海明 | 申请(专利权)人: | 中建材凯盛机器人(上海)有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B1/04;B08B11/04;B08B13/00;B65G49/06;G01N27/04;G01N27/20 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王洁;郑暄 |
地址: | 201108 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | cigs 玻璃 镀膜 清洗 系统 | ||
本发明涉及一种CIGS玻璃基板镀膜清洗系统,其中所述的系统包括输送定位机构、滴液机构、布卷机构、顶升清洗机构以及测量机构,通过上述机构的相互组合及连接组成一可对CIGS玻璃基板镀膜清洗的装置。采用该种结构的清洗系统实现对CIGS玻璃基板的基板玻璃前置工序溢出到背侧的镀膜进行清洗擦除,实现玻璃基板后续的工艺要求,实现上料‑清洗‑测量‑下料过程自动化,基板的输送定位、布卷的供应、清洗液的滴洒、清洗过程以及结果测量均无需人工干预,整个工艺过程节拍快速稳定;清洗完成后测量装置直接贴上CIGS玻璃基板表面进行测量,保证结果准确,操作便捷,提高了工作效率,极大的提高CIGS良品率,减轻现场工作人员的劳动强度。
技术领域
本发明涉及自动化领域,尤其涉及一种CIGS玻璃基板的清洗领域,具体是指一种CIGS玻璃基板镀膜清洗系统。
背景技术
目前学术界和产业界普遍认为太阳能电池的发展已进入了以薄膜太阳能电池为主第三代,铜铟镓硒薄膜太阳能电池(CIGS)是20世纪80年代后期开发出来的新型太阳能电池,它作为多元化合物薄膜电池的重要一员,凭借优越的综合性能成为全球光伏领域的研究热点之一。CIGS典型的多层膜结构包括金属栅、减反射膜、窗口层(ZnO)、过渡层、光吸收层、背电极和玻璃基板。在制备过程中,CIGS薄膜一般是在镀有Mo的玻璃衬底上生长出来的,在将ZnO膜层溅射在衬底基板上时,晶粒会通过前置工序在基板上钻出的穿线孔透到玻璃基板的另一面,这些溢出的晶粒膜层会造成电池器件的短路现象,严重影响薄膜电池的性能,甚至导致电池组件报废。
发明内容
本发明的目的是克服了上述现有技术的缺点,提供了一种可实现上料-清洗-测量-小料过程自动化的CIGS玻璃基板镀膜清洗系统。
为了实现上述目的,本发明的CIGS玻璃基板镀膜清洗系统具有如下构成:
该CIGS玻璃基板镀膜清洗系统,其主要特点是,所述的系统包括:
输送定位机构,用于输送并定位所述的CIGS玻璃基板;
滴液机构,用于均匀的滴洒清洗液;
布卷机构,清洁布卷置于该布卷机构上,并有该布卷机构带动清洁布卷上的清洁布移动,所述的清洁布卷由所述的清洁布卷叠制成;
顶升清洗机构,用于所述的CIGS玻璃基板的清洗;
测量机构,用于检验经过清洗后的所述的CIGS玻璃基板是否符合清洗要求;
所述的滴液机构、布卷机构及顶升清洗机构共同构成所述的系统中的清洗模块;
所述的滴液机构位于所述的布卷机构的上方,所述的顶升清洗机构位于所述的输送定位机构的下方,所述的测量机构位于所述的系统的出口处。
较佳地,所述的输送定位机构包括左输送定位单元与右输送定位单元,所述的左输送定位单元与右输送定位单元分别置于所述的系统横向中心线的左右两侧,所述的横向中心线的方向与所述的CIGS玻璃基板运动形成的轨迹线的方向相一致。
更佳地,所述的左输送定位单元包括第一输送皮带,所述的右输送定位单元包括第二输送皮带,所述的CIGS玻璃基板置于所述的第一输送皮带与第二输送皮带上。
更进一步地,所述的左输送定位单元和右输送定位单元均包括减速传感器、停止传感器以及阻挡气缸;
各个所述的减速传感器、停止传感器以及阻挡气缸分别与对应的第一输送皮带及第二输送皮带相邻;
各个所述的阻挡气缸顶部均安装有一阻挡块。
更进一步地,所述的左输送定位单元和右输送定位单元均包括定位滑台气缸及定位夹紧件,所述的定位滑台气缸与所述的定位夹紧件相连接。
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