[发明专利]基于微谐振腔的集成化光学频率梳在审

专利信息
申请号: 201810710628.9 申请日: 2018-07-02
公开(公告)号: CN110673420A 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 于文琦;刘建国;李金野;杨成悟 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G02F1/35 分类号: G02F1/35;H01S5/12;H01S5/125;H01S5/187
代理公司: 11021 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 张宇园
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 半导体激光器芯片 微谐振腔 温度控制器 光放大器 芯片 光学频率梳 输出波长 集成化 模斑转换结构 调谐 传统光学 工作波段 横向耦合 谐振波长 重复频率 耦合 大带宽 封装壳 频率梳 体积小 功耗 光频 封装 体内 覆盖 应用
【权利要求书】:

1.一种基于微谐振腔的集成化光学频率梳,其特征在于,所述光学频率梳包括:半导体激光器芯片、光放大器芯片、微谐振腔和温度控制器,其中:

所述半导体激光器芯片、光放大器芯片、微谐振腔和温度控制器混合集成在一起,封装在一个封装壳体内;

所述半导体激光器芯片、光放大器芯片、微谐振腔之间利用模斑转换结构实现直接的横向耦合;

所述半导体激光器芯片的输出波长配置在微谐振腔的谐振波长以及附近调谐;

所述光放大器芯片的工作波段覆盖所述半导体激光器芯片的输出波长;

所述半导体激光器芯片、光放大器芯片和微谐振腔各配置有一个温度控制器,它们的温度可以分别被各自对应的温度控制器控制。

2.根据权利要求1所述的基于微谐振腔的集成化光学频率梳,其特征在于,所述半导体激光器芯片包括分布式布拉格反射激光器或分布式反馈激光器。

3.根据权利要求1所述的基于微谐振腔的集成化光学频率梳,其特征在于,所述光放大器芯片的输出功率能满足微谐振腔的阈值功率。

4.根据权利要求1所述的基于微谐振腔的集成化光学频率梳,其特征在于,所述微谐振腔是包括微环谐振腔或者微盘谐振腔或者微球谐振腔。

5.根据权利要求1所述的基于微谐振腔的集成化光学频率梳,其特征在于,所述的半导体激光器芯片、光放大器芯片和微谐振腔的端口都有模斑转换结构。

6.根据权利要求1所述的基于微谐振腔的集成化光学频率梳,其特征在于,所述温度控制器是多个分立的温度控制器,能对激光器芯片、光放大器芯片和微谐振腔分别进行对应的温度控制,包括半导体制冷器。

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