[发明专利]平移式密闭容器真空度检测系统

权利要求书

1.一种平移式密闭容器真空度检测系统，其特征在于，包括：

工作台，所述工作台中部设有可平移的载物台，所述载物台两侧设有至少一对平行的电极；

所述电极具有施加在表面的高频电场，以诱导待测密闭容器内产生辉光放电；

所述工作台上还设有信号检测分析器，所述信号检测分析器能捕获待测密闭容器移动在电极中间产生的辉光放电信号，所述待测密闭容器平行于电极的两侧表面设有一对用于防止产生电弧的电介质；

所述电极之间产生串联谐振回路；

所述载物台由驱动装置驱动；

所述电极为板状电极；

所述信号检测分析器包括处理系统，所述处理系统根据光的性能，包括辉光亮度，形状和颜色辨别密闭容器的真空辉光特性；

所述高频电场由高频电场产生单元产生，所述高频电场产生单元包括高频电流发生器，高频高压转换单元；

所述电极的宽度和长度以及电极之间的距离根据所述密闭容器的尺寸和特性来调节；

所述信号检测分析器包括彩色图像输入系统；

所述信号检测分析器检测路线与同一对所述电极之间连线的夹角为锐角。

2.根据权利要求1所述的一种平移式密闭容器真空度检测系统，其特征在于：所述板状电极能够替换为线状电极。