[发明专利]真空干燥设备

说明书

本发明提供一种真空干燥设备。所述真空干燥设备包括腔体、间隔分布于所述腔体内的多个抽气口、与所述多个抽气口相连的抽气单元、设于所述腔体内的浓度传感器、以及连接所述浓度传感器和抽气单元的控制单元；所述腔体用于容置基板，所基板上设有待干燥成型的墨水，所述浓度传感器用于在所述墨水干燥成型的过程中感测各个抽气口处的墨水浓度，所述控制单元用于根据各个抽气口处的墨水浓度控制抽气单元改变各个抽气口处的抽气压力，使得各个抽气口处的墨水浓度一致，能够实时修正抽气压力，保证墨水挥发的均匀性和稳定性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种真空干燥设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Display，OLED)显示器件具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽、及可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。

OLED显示器件的结构一般包括：基板、阳极、阴极以及夹在阳极与阴极之间的有机功能层。其中有机功能层，一般包括空穴传输功能层(HoleTransport Layer，HTL)、发光功能层(Emissive Layer，EML)、及电子传输功能层(Electron Transport Layer，ETL)。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，可以细分为空穴注入层(HoleInjection Layer，HIL)和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层(Electron Injection Layer，EIL)。OLED显示器件的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。OLED显示器件的制作方法通常为，先在基板上形成阳极，在该阳极上形成空穴传输层，在空穴传输层上形成发光功能层，在发光功能层上形成电子传输功能层，在电子传输功能层上形成阴极。HTL、EML、ETL等有机功能层的制备方式通常包括真空热蒸镀(Vacuum Thermal Evaporation)与喷墨打印(Ink-jetPrint，IJP)两种。

喷墨打印技术在AMOLED器件有机功能层的制备中，相比于传统的真空热蒸镀具有节省材料，制程条件温和、成膜更均匀等诸多优点，所以更具应用潜力。喷墨打印是将溶有OLED材料的墨水直接滴涂到预先制作好的像素定义层中，再通过真空干燥使得墨水挥发形成所需有机功能层。墨水真空干燥后得到有机功能层的形状与有机发光二极管的发光效率和不良(Mura)的产生有决定性的联系，因而对于真空干燥设备的进行真空干燥时墨水挥发的稳定性和均匀性有很高的要求，目前的真空干燥设备在真空干燥过程中均不能根据墨水的挥发情况实时进行抽气压力的调整修正，导致墨水成型后的良率不高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空干燥设备，能够实时修正抽气压力，保证墨水挥发的均匀性和稳定性。

为实现上述目的，本发明提供了一种真空干燥设备，包括腔体、间隔分布于所述腔体内的多个抽气口、与所述多个抽气口相连的抽气单元、设于所述腔体内的浓度传感器以及电性连接所述浓度传感器和抽气单元的控制单元；

所述腔体用于容置基板，所基板上设有待干燥成型的墨水，所述浓度传感器用于在所述墨水干燥成型的过程中感测各个抽气口处的墨水浓度，所述控制单元用于根据各个抽气口处的墨水浓度控制抽气单元改变各个抽气口处的抽气压力，使得各个抽气口处的墨水浓度一致。

所述真空干燥设备还包括：设于所述腔体内的多个间隔排列的基板顶针，所述待干燥的基板放置于所述顶针上。

所述抽气单元包括抽气泵及连通抽气泵的多个调节阀，每一个抽气口对应通过一个调节阀与所述抽气泵连通，所述抽气单元通过控制所述调节阀的开口大小改变各个抽气口处的抽气压力。

所述浓度传感器的数量与所述抽气口的数量相等，每一个浓度传感器对应一个抽气口设置。