[发明专利]一种T型四悬臂梁式电子校准件开关

说明书

一种T型四悬臂梁式电子校准件开关，包括：提供支撑基础的衬底，设置在衬底上的微波传输组件，以及封装微波传输组件的封装组件；微波传输组件包括：对称设置的信号线单元、设置在信号线单元周侧的地线单元、导通地线单元的空气桥单元和设置在信号线单元下方的驱动电极。与传统的单刀双掷开关相比具有明显的优势，射频MEMS开关，具有四个悬臂梁组成对称结构，既减小了插入损耗又提升了回波损耗，同时开关的隔离度也十分的优越。于此也增强了开关寿命和微波性能。可实现DC‑40GHz的电子校准，降低了电路复杂度，简化了校准过程，提高了定标效率和校准精度，实现了射频MEMS开关在更高频段矢量网络分析仪校准领域的应用。

技术领域

本发明属于电子元器件技术领域，具体涉及一种T型四悬臂梁式电子校准件开关。

背景技术

与机械校准件相比，电子校准件具有自动校准、体积小、重量轻、校准精度高等优点，可以为矢量网络分析仪提供精密的、单次连接多次校准的校准方法。电子校准件使用的是在精度上完全可溯源及验证的电子阻抗标准件。所需的阻抗标准包括开路、短路和负载等，这些都是通过开关器件来实现的。开关器件构成了电子校准的硬件基础，常用的是场效应管开关。其主要缺点驻波特性差，插入损耗大，同时功耗高，特别是在高频段，由于驻波特性差使得各阻抗的频率响应曲线趋同，导致无法分辨各阻抗标准，需要设计更多阻抗状状态，且需要后续的算法对对独立性较好的几种标准进行优化，限制了定标效率。

RF MEMS开关继承了MEMS执行速度快以及品质因数高的特点，具有极低的串联电阻和极低的执行功耗。中国电子科技集团公司第四十一研究所设计了一种基于MEMS开关的电子校准件(申请号：CN201310250462.4)，通过采用MEMS开关RMSW221取代场效应开关器件AMMC-2008，降低了电路复杂度，提高了定标效率和校准精度，但在DC-20GHz范围内采用的MEMS开关的电子校准件微波特性随着频率的升高而变差。

一种T型四悬臂梁式电子校准件开关。采用单刀双掷MEMS开关，可实现DC-40GHz的电子校准，降低了电路复杂度，简化了校准过程，提高了定标效率和校准精度，实现了射频MEMS开关在更高频段矢量网络分析仪校准领域的应用。

发明内容

本发明的目的就是针对传统单刀单掷开关的不足，设计了一种适用于DC-40GHz的T型四悬臂梁式电子校准件开关。利用自制射频MEMS开关在高频段优异的驻波特性、良好的插损特性和回波损耗特性，降低了电路复杂度，简化了校准过程，提高了定标效率和校准精度，实现了射频MEMS开关在更高频段矢量网络分析仪校准领域的应用。

一种T型四悬臂梁式电子校准件开关，包括：提供支撑基础的衬底，设置在所述衬底上的微波传输组件，以及封装所述微波传输组件的封装组件；

所述微波传输组件包括：对称设置的信号线单元、设置在信号线单元周侧的地线单元、导通所述地线单元的空气桥单元和设置在所述信号线单元下方的驱动电极。

进一步的，所述信号线单元包括：输入信号线、输出信号线、半环形信号线、T型信号线；

所述输入信号线和所述输出信号线分别设置在所述衬底表面的相对两侧，所述输入信号线及所述输出信号靠近衬底内侧的一端分别连接一所述T型信号线，两个所述半环形信号线以所述输入信号线或输出信号线所在直线为中心对称设置，所述半环形信号线呈“U”形，所述半环形信号线两端分别与两个T型信号线同侧的端部对应，且所述半环形信号线两端分别设置一悬臂梁，所述悬臂梁一端固定在所述半环形信号线上，所述悬臂梁另一端悬空延伸至所述T型信号线端部的上方。

进一步的，所述悬臂梁上设置有释放孔阵列。

进一步的，所述T型信号线具有两个方向相反的端口，所述端口分别朝向位于T型信号线两侧的半环形信号线的端点，所述端口上设置有两个平行设置的触点，所述触点位于相邻所述悬臂梁下方。

进一步的，所述地线单元包括：第一地线、第二地线、第三地线；