[发明专利]一种低浓度标准气体持续发生装置及其发生方法

权利要求书

1.一种低浓度标准气体持续发生装置，其特征在于，包括进气管路(1)、气源室(2)、主气室(3)和配气管路(7)，气源室通过第一气泵(4)与主气室连通，主气室内安装有压差传感器(5)，主气室的出气端通过传质控制装置(6)与配气管路(7)连通，进气管路分别与气源室和配气管路连通。

2.根据权利要求1所述的低浓度标准气体持续发生装置，其特征在于，进气管路包括依次连通的第一过滤器(12)、第二气泵(13)和流量传感器(14)。

3.根据权利要求1所述的低浓度标准气体持续发生装置，其特征在于，气源室为内装有固定量气源溶液的容器。

4.根据权利要求1所述的低浓度标准气体持续发生装置，其特征在于，气源室与第一气泵之间还连通有第二过滤器(8)和中转气室(9)。

5.根据权利要求1所述的低浓度标准气体持续发生装置，其特征在于，传质控制装置(6)为毛细管、针阀、惰性多孔透气膜或采用惰性多孔透气材料制成的其他部件。

6.根据权利要求1所述的低浓度标准气体持续发生装置，其特征在于，主气室为容积可变的气室结构。

7.根据权利要求6所述的低浓度标准气体持续发生装置，其特征在于，主气室内设置有移动活塞或伸缩气囊。

8.根据权利要求6所述的低浓度标准气体持续发生装置，其特征在于，主气室为由柔性惰性材料制成的气袋。

9.一种利用权利要求1至8任一所述的发生装置的低浓度标准气体持续发生方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

1)由已知体积的干净空气通过进气管路(1)将气源室(2)中的固定量气源全部吹扫到主气室(3)中，获得已知较高浓度的目标气体；

2)控制并保持传质控制装置(6)两端压差恒定，已知较高浓度的目标气体通过传质控制装置(6)流入配气管路(7)中；

3)已知流量的干净气体通过进气管路(1)流入配气管路(7)中，稀释配气管路(7)中已知较高浓度的目标气体并流出，持续获得低浓度目标标准气体。

10.根据权利要求9所述的低浓度标准气体持续发生方法，其特征在于，步骤2)中，保持传质控制装置(6)两端压差恒定是通过压差传感器的压差测量并及时反馈、调整主气室(3)中的气体体积来实现。