[发明专利]基于源/漏电极区差异性铁电极化的四态铁电晶体管存储器的操作方法在审

专利信息
申请号: 201810588956.6 申请日: 2018-06-08
公开(公告)号: CN108899058A 公开(公告)日: 2018-11-27
发明(设计)人: 朱国栋;陈秋松 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: G11C11/22 分类号: G11C11/22;H01L29/78
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 铁电晶体管 铁电极化 存储器 源/漏电极 差异性 四态 信息技术领域 源/漏区域 存储容量 存储状态 制备工艺 源/漏区 铁电膜 取向 三极 源漏 施加
【权利要求书】:

1.一种基于源/漏电极区差异性铁电极化的四态铁电晶体管存储器的操作方法,铁电晶体管的结构为:一对源/漏极,一个栅极,一个半导体沟道层和一个铁电层;其特征在于,通过对源漏栅三极上所施加电压的合理调控,实现对源极区和漏极区铁电膜的差异性极化,通过不同的极化状态组合,在一个铁电晶体管器件上实现四个状态存取操作。

2.根据权利要求1所述的操作方法,其特征在于,将铁电层内电偶极子取向方向向上的极化状态定义为正极化态,当铁电膜内电偶极子取向方向向下的极化状态定义为负极化态;栅极和源极间电压记为VGS,栅极和漏极间电压记为VGD,漏源间电压记为VDS,漏源间电流记为IDS,栅源间电流记为IGS,铁电膜矫顽电压为VC;四态存储信息的写入操作如下:

写入状态1:VGS和VGD为正值且均大于VC时,源极区和漏极区的铁电膜均正极化;

写入状态2:VGS和VGD为负值且两者绝对值均大于VC时,源极区和漏极区的铁电膜均负极化;

写入状态3:VGS为正值且大于VC,同时VGD为负值且其绝对值大于VC时,源极区铁电膜正极化,而漏极区铁电膜负极化;此时IDS电流值介于关态和开态电流值之间;实际操作时,在写入状态2的基础上,施加正的VDS和VGS值,且保证VDS<VC<VGS,实现状态3的写入;

写入状态4:VGD为正值且大于VC,同时VGS为负值且其绝对值大于VC时,源极区铁电膜负极化,而漏极区铁电膜正极化;此时IDS电流值介于关态和开态电流值之间;实际操作时,在写入状态1的基础上,施加负的VDS和VGS值,且保证|VDS|<VC<|VGS|,实现状态4的写入。

3.根据权利要求2所述的操作方法,其特征在于,所采用的铁电材料选自有机铁电小分子、铁电聚合物、无机铁电陶瓷、无机铁电晶体、二维铁电体。

4.根据权利要求2所述的操作方法,其特征在于,所采用的半导体材料选自硅半导体、氧化物半导体、有机半导体、二维半导体材料。

5.根据权利要求2所述的操作方法,其特征在于,所述的铁电晶体管的结构为顶栅顶接触、顶栅底接触、底栅底接触或底栅顶接触。

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