[发明专利]电容式机械波感测组件及其支撑柱以及机械波收发装置

权利要求书

1.一种电容式机械波感测组件，其特征在于，包含：

一可动组件层，包含一第一导电层与一调整层，该可动组件层具有数个孔洞，该数个孔洞穿透该第一导电层与该调整层；

至少一支撑柱，配置于该可动组件层的下方的重心处，该支撑柱由一内部金属柱与一外部保护环所构成，该内部金属柱与该第一导电层电性连接；及

一基底导电层，配置于该可动组件层的对侧而与该至少一支撑柱连接，该基底导电层与该第一导电层隔离而形成一电容结构。

2.如权利要求1所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该调整层是选自钛材料层、氮化钛材料层、铬材料层、二氧化硅材料层、钛铬合金材料层、硅化钨合金材料层。

3.如权利要求1所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该第一导电层形成于该至少一支撑柱上方而直接与该至少一支撑柱电性连接。

4.如权利要求1所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该调整层形成于该至少一支撑柱上方，而该第一导电层是借由穿孔与该至少一支撑柱电性连接。

5.如权利要求1所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该可动组件层的形状为规则对称形状。

6.如权利要求1所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该数个孔洞的形状是选自圆形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

7.如权利要求1所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该数个孔洞的排列是选自圆形环状排列、三角形紧密排列、方形紧密排列、五角形紧密排列、六角形紧密排列、八角形紧密排列。

8.如权利要求1所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该支撑柱的形状是选自圆形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

9.如权利要求1所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该可动组件层上还包含至少一沟槽结构，该沟槽结构穿透该第一导电层与该调整层而对应围绕形成于该支撑柱的外侧而与该支撑柱保持一距离。

10.如权利要求1所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该可动组件层上还包含至少一平面弹簧结构，该平面弹簧结构形成于该可动组件层的表面。

11.一种电容式机械波感测组件，其特征在于，包含：

一可动组件层，包含一第一导电层，该可动组件层具有数个孔洞，该数个孔洞穿透该第一导电层，该数个孔洞的排列是选自圆形环状排列、三角形紧密排列、方形紧密排列、五角形紧密排列、六角形紧密排列、八角形紧密排列；

至少一支撑柱，配置于该可动组件层的下方的重心处，该支撑柱由一内部金属柱与一外部保护环所构成，该内部金属柱与该第一导电层电性连接；及

一基底导电层，配置于该可动组件层的对侧而与该至少一支撑柱连接，该基底导电层与该第一导电层隔离而形成一电容结构。

12.如权利要求11所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该可动组件层的形状为规则对称形状。

13.如权利要求11所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该数个孔洞的形状是选自圆形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

14.如权利要求11所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该支撑柱的形状是选自圆形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

15.如权利要求11所述的电容式机械波感测组件，其特征在于，其中该可动组件层上还包含至少一沟槽结构，该沟槽结构穿透该第一导电层而对应围绕形成于该支撑柱的外侧而与该支撑柱保持一距离。