[发明专利]电容式机械波感测阵列装置

权利要求书

1.一种电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，包含：

一外壳，该外壳包含一空腔；

数个机械波感测组件，以一排列结构形成于该空腔中，每个该机械波感测组件包含：

一第一可动组件层，包含一第一导电层，该第一可动组件层具有数个第一孔洞，该数个第一孔洞穿透该第一导电层；

至少一第一支撑柱，配置于该第一可动组件层的下方的重心处，该第一支撑柱由一第一内部金属柱与一第一外部保护环所构成，该第一内部金属柱与该第一导电层电性连接；及

一第一基底金属层，配置于该空腔的底面，借由每个该机械波感测组件的该至少一第一支撑柱与该第一可动组件层隔离而形成数个电容结构；及

数个扬起壁，形成于该空腔的底部而分别成一突起状，配置于该数个机械波感测组件之间的该排列结构的端点。

2.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该第一可动组件层还包含一第一调整层，该第一调整层是选自氮化钛材料层、铬材料层、二氧化硅材料层。

3.如权利要求1或2所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该第一导电层是形成于该至少一第一支撑柱上方而直接与该至少一第一支撑柱电性连接。

4.如权利要求2所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该第一调整层是形成于该至少一第一支撑柱上方，而该第一导电层是借由穿孔与该至少一第一支撑柱电性连接。

5.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该数个第一孔洞的形状是选自圆形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

6.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该数个第一孔洞的排列是选自圆形环状排列、三角形紧密排列、方形紧密排列、五角形紧密排列、六角形紧密排列、八角形紧密排列。

7.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该第一支撑柱的形状是选自圆形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

8.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该第一可动组件层上还包含至少一第一沟槽结构，该第一沟槽结构穿透该第一导电层而对应围绕形成于该第一支撑柱的外侧而与该第一支撑柱保持一距离。

9.如权利要求2所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该第一可动组件层上还包含至少一第一沟槽结构，该第一沟槽结构穿透该第一导电层与该第一调整层而对应围绕形成于该第一支撑柱的外侧而与该第一支撑柱保持一距离。

10.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该第一可动组件层上还包含至少一平面弹簧结构，该平面弹簧结构形成于该第一可动组件层的表面。

11.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该数个扬起壁是由绝缘材料或金属材料所构成。

12.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该扬起壁的该突起状为一顶面尖突状。

13.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该扬起壁的该突起状为一顶面平台状。

14.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该数个扬起壁之间彼此连结而成环形壁状结构。

15.如权利要求1所述的电容式机械波感测阵列装置，其特征在于，其中该排列结构是选自：四方结构、五角结构、三角结构、六角结构。