[发明专利]平面度测量的柔性装置

说明书

本发明提供了一种平面度测量的柔性装置，本发明的平面度测量柔性装置，借助大量探针获取被测平面的高度信息，同时通过内置计算程序可快速计算出平面度数值，并实时显示出来，测量较为方便，通过大数量探针获得测量点高度值，提高了测试的准确性，同时由于柔性连接装置可扩大缩小的特点，该装置大小可伸缩、调节，适用范围更广，适合不同大小连续平面的平面度测量，属于一种适用范围广泛的直接法测量平面度的装置，精度可达到0.01mm。

技术领域

本发明涉及一种平面度测量的柔性装置。

背景技术

在机械类产品生产、装配过程中，经常遇到平面度测量问题。平面度指实际平面对其理想平面的变动量。传统的平面度测量方法有直接法和间接法多种。其中多数直接法测量较为直观、简单，但测量误差较大；大多数间接法测量，测试方法较为复杂，受测试条件局限性较大。

传统的平面度直接测量方法有间隙法、指示表法、光轴法、干涉法。

间隙法：将被测平面内的任一直线与由刀口尺寸、平板体现的测量基准线间形成的光隙与标准光隙相比较，并测量不同方向的若干截面中的直线度误差，取其中最大值作为平面度近似值。指示表法：此方法通过精密平台等建立测量平面，再用带有指示表的测量装置或坐标测量仪测出被测平面相对测量基础面的偏差值，通过数据处理评定平面误差值。上述测量方法测量误差较大。

光轴法：采用准直类仪器，以其光轴经转向棱镜扫瞄的平面作为测量基面，测出被测平面相对测量基面的偏离量，进而评定平面度误差。该方法适用于一般精度的大平面的平面度误差测量。干涉法：用平晶的工作面体现测量基面，利用光波干涉原理，根据平晶与被测平面贴合后出现的干涉条纹的形状和条数来确定平面度误差。此方法适用于经过精研的小平面。上述方法都有其测量局限性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种平面度测量的柔性装置。

为解决上述问题，本发明提供一种平面度测量的柔性装置，包括：

包括柔性连接机构、探针、感应测量装置和数据微处理器，其中，

所述柔性连接机构用于固定多个探针，每个探针的一端与平面柔性机构的连接点为一个节点，

每个探针的另一端与被测平面紧密接触；

所述感应测量装置包括力学传感器和与所述力学传感器连接的中央处理器，力学传感器包括在每个节点处设置的感应探头，所述感应探头与中央处理器电气连接；

所述数据微处理器通过电缆与所述中央处理器相连，所述数据微处理器接收所述中央处理器传输的数据，所述数据微处理器根据接收的所述数据计算出平面度值通过显示器进行输出。

进一步的，在上述平面度测量的柔性装置中，所述柔性连接机构实现横向、纵向的收缩和拉长，并带动所述探针的间距同比例收缩或延长，同时保持所有节点始终处于同一平面。

进一步的，在上述平面度测量的柔性装置中，所述柔性连接机构的平面度为1um，同时每个节点始终处于平面度为1um的平面内。

进一步的，在上述平面度测量的柔性装置中，所述探针为相同或不同组别个数，所述探针的组别个数包括100×80、80×60、60×40，40×20。

进一步的，在上述平面度测量的柔性装置中，每个探针的的自由长度为10mm。

进一步的，在上述平面度测量的柔性装置中，所述探针的直径为0.2mm，由弹性材料制成，每个探针在压缩范围在0-5mm内，根据所述探针的压缩量的不同，对应节点处承受相对应的压缩力。