[发明专利]显影控制系统及显影控制方法

说明书

本发明公开了一种显影控制系统，所述显影控制系统包括：第一与第二管道，分别连接显影槽；显影槽，容纳显影液；控制装置，设置于第一管道与显影槽间及第二管道与显影槽间，控制显影原液与显影循环液传输至显影槽；第一调节装置，与显影槽和控制装置连接，控制装置控制第一调节装置通过第三管道向显影槽传输第一调节溶液，本发明还公开了一种显影控制方法，通过上述方法，控制显影液的显影能力，实现CD的均一性，以提高画质。

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域，特别是涉及一种显影控制系统及显影控制方法。

背景技术

在TFT-LCD显示面板制造行业中，显示面板的制作工艺是制造高质量显示面板的一个重要部分。显示面板的制作包括：清洗、成膜、涂布、曝光、显影等。其中，基板的显影是显示面板制作中的重要流程。

随着TFT-LCD显示面板要求的画质越来越高，TFT的CD(Critical Dimention，特征线宽)均一性就越来越重要。理论上，CD均一性越小，显示面板的画质越好。目前主要是通过提高曝光过程中曝光机的照度均匀性、夹盘平面角度(chuck flatness)以及焦距来提升CD的均一性，但以现有曝光机的能力，很难使CD的批次间差异获得有效的控制，并且实际生产中为节省后续显影过程中显影液TMAH(Tetramethylammonium Hydroxide)的用量，一般会将显影液TMAH回流到显影槽内循环重复使用，调整TMAH浓度在2.38％，但在显影过程中仍然会有显著的显影能力差异，进而影响CD，影响显示面板的画质。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种显影控制系统及显影控制方法实现CD的均一性，以提高画质。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：

提供一种显影控制系统，包括：

第一管道，连接显影槽，用于传输显影原液至所述显影槽；

第二管道，连接所述显影槽，用于传输显影循环液至所述显影槽；

所述显影槽，用于容纳所述显影原液及所述显影循环液构成的显影液；

控制装置，设置于所述第一管道与所述显影槽之间以及所述第二管道与所述显影槽之间，控制所述显影原液与所述显影循环液传输至所述显影槽；

第一调节装置，与所述显影槽和所述控制装置连接，所述控制装置控制所述第一调节装置通过第三管道向所述显影槽传输第一调节溶液。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：

提供一种显影控制方法，包括：

控制装置控制显影原液通过第一管道传输至显影槽；

所述控制装置控制显影循环液通过第二管道传输至所述显影槽，所述显影原液及所述显影循环液构成显影液；

所述控制装置控制第一调节装置通过第三管道向所述显影槽传输第一调节溶液。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明通过一种显影控制系统，包括：第一管道，连接显影槽，用于传输显影原液至所述显影槽；第二管道，连接所述显影槽，用于传输显影循环液至所述显影槽；所述显影槽，用于容纳所述显影原液及所述显影循环液构成的显影液；控制装置，设置于所述第一管道与所述显影槽之间以及所述第二管道与所述显影槽之间，控制所述显影原液与所述显影循环液传输至所述显影槽；第一调节装置，与所述显影槽和所述控制装置连接，所述控制装置控制所述第一调节装置通过第三管道向所述显影槽传输第一调节溶液，以控制所述显影液的显影能力差异，控制CD的均一性，进而提高显示面板的画质。

附图说明

图1是本发明显影控制系统实施例一的结构示意图；

图2是本发明显影控制系统实施例二的结构示意图；