[发明专利]显影控制系统及显影控制方法

权利要求书

1.一种显影控制系统，其特征在于，包括：

第一管道，连接显影槽，用于传输显影原液至所述显影槽；

第二管道，连接所述显影槽，用于传输显影循环液至所述显影槽；

所述显影槽，用于容纳所述显影原液及所述显影循环液构成的显影液；

控制装置，设置于所述第一管道与所述显影槽之间以及所述第二管道与所述显影槽之间，控制所述显影原液与所述显影循环液传输至所述显影槽；

第一调节装置，与所述显影槽和所述控制装置连接，所述控制装置控制所述第一调节装置通过第三管道向所述显影槽传输第一调节溶液；其中，所述第一调节装置为光阻调节单元，所述第一调节溶液为光阻溶液；

其中，所述控制装置包括控制单元及第一侦测单元，所述第一侦测单元用于侦测所述显影槽内显影液的碱浓度值并将侦测到的碱浓度值发送给所述控制单元，所述控制单元通过碱浓度值控制所述显影液浓度，所述控制单元将接收到的碱浓度值与碱浓度预设值进行比较，在接收到的碱浓度小于所述碱浓度预设值时，所述控制单元控制所述第一管道传输所述显影原液至所述显影槽，在接收到的碱浓度大于所述碱浓度预设值时，所述控制单元控制所述显影循环液传输至所述显影槽；

所述控制装置还包括第二侦测单元，所述第二侦测单元用于侦测所述显影槽内显影液的光阻浓度值并将侦测到的光阻浓度值发送给所述控制单元，所述控制单元将接收到的光阻浓度值与光阻浓度预设值进行比较，在接收到的光阻浓度小于所述光阻浓度预设值时，所述控制单元控制所述光阻调节单元传输光阻溶液至所述显影槽，在接收到的光阻浓度大于所述光阻浓度预设值时，所述控制单元控制所述显影循环液传输至所述显影槽。

2.根据权利要求1所述显影控制系统，其特征在于，所述显影控制系统还包括第二调节装置，与所述显影槽及所述控制装置连接，所述控制装置控制所述第二调节装置通过第四管道向所述显影槽传输第二调节溶液。

3.根据权利要求2所述显影控制系统，其特征在于，所述第二调节装置为显影循环液调节单元，所述第二调节溶液为显影循环液，在接收到的光阻浓度大于所述光阻浓度预设值时，所述控制单元控制所述第二调节装置传输显影循环液至所述显影槽。

4.根据权利要求1所述显影控制系统，其特征在于，所述显影原液浓度为25％，所述显影液的浓度为2.38±0.01％。

5.根据权利要求2所述显影控制系统，其特征在于，所述显影控制系统还包括设置在所述显影槽上方的显影循环液收集装置，所述显影循环液收集装置通过第五管道与所述显影槽连接，以对所述显影循环液进行循环。

6.根据权利要求5所述显影控制系统，其特征在于，所述显影控制系统还包括设置在所述显影槽上的第六管道，所述第六管道通过压力泵及第一控制阀连接所述显影槽，以对显影槽内的显影液进行循环混液；所述第六管道通过压力泵及第二控制阀连接所述显影循环液收集装置，用于对所述显影循环液收集装置进行清洗。

7.一种显影控制方法，其特征在于，包括：

控制装置控制显影原液通过第一管道传输至显影槽；

所述控制装置控制显影循环液通过第二管道传输至所述显影槽，所述显影原液及所述显影循环液构成显影液；

所述控制装置控制第一调节装置通过第三管道向所述显影槽传输第一调节溶液；

其中，所述第一调节装置为光阻调节单元，所述第一调节溶液为光阻溶液；

所述控制装置包括控制单元及第一侦测单元，所述第一侦测单元用于侦测所述显影槽内显影液的碱浓度值并将侦测到的碱浓度值发送给所述控制单元，所述控制单元通过碱浓度值控制所述显影液浓度，所述控制单元将接收到的碱浓度值与碱浓度预设值进行比较，在接收到的碱浓度小于所述碱浓度预设值时，所述控制单元控制所述第一管道传输所述显影原液至所述显影槽，在接收到的碱浓度大于所述碱浓度预设值时，所述控制单元控制所述显影循环液传输至所述显影槽；

所述控制装置还包括第二侦测单元，所述第二侦测单元用于侦测所述显影槽内显影液的光阻浓度值并将侦测到的光阻浓度值发送给所述控制单元，所述控制单元将接收到的光阻浓度值与光阻浓度预设值进行比较，在接收到的光阻浓度小于所述光阻浓度预设值时，所述控制单元控制所述光阻调节单元传输光阻溶液至所述显影槽，在接收到的光阻浓度大于所述光阻浓度预设值时，所述控制单元控制所述显影循环液传输至所述显影槽。