[发明专利]一种合金蚀刻液及合金的蚀刻方法

说明书

本发明提供了一种合金蚀刻液，由以下成分组成：醋酸：5～25wt％；双氧水：1～35wt％；表面活性剂：0.1～5wt％；消泡剂：0.1～5wt％；余量为去离子水。本发明针对图1中特殊的三明治结构，采用了醋酸与双氧水配伍，能够有效的控制蚀刻的速率，使不同层之间的蚀刻速率达到一致，提高蚀刻效果。实验结果表明，采用本申请中合金蚀刻液对图1中的三层合金结构进行蚀刻，蚀刻界面平整，速率可控，且表面无残留。本发明还提供了一种合金的蚀刻方法。

技术领域

本发明属于触摸屏技术领域，尤其涉及一种合金蚀刻液及合金的蚀刻方法。

背景技术

金属网格技术应用在大尺寸触摸屏领域越来越广泛，其主要采用铜等金属材料，在薄膜上压制所形成的导电金属网格图案。但是，采用铜材料制作金属网格图案，其反射率太高，生产出来的产品会产生严重的底影。为了改善底影效果，降低铜走线的反射率，一般采用如图1所示的三明治结构，既可以实现较高的导电性，又可以降低走线的反射率，实现底影轻微甚至无底影的效果。

但是该种结构存在的困难是各层之间的蚀刻速率不一样，使用现有的蚀刻液对该结构的基材进行蚀刻时，蚀刻程度难以掌握，因此，需要研制一种特殊的蚀刻液让不同层之间的蚀刻速率达到一致。

发明内容

本发明的目的在于提供一种合金蚀刻液及一种合金蚀刻方法，本发明中的合金蚀刻液能够让不同层之间的蚀刻速率达到一致。

本发明提供一种合金蚀刻液，由以下成分组成：

醋酸：5～25wt％；双氧水：1～35wt％；表面活性剂：0.1～5wt％；消泡剂：0.1～5wt％；余量为去离子水。

优选的，所述表面活性剂为月桂醇硫酸钠或木质素磺酸盐。

优选的，所述消泡剂为聚二甲基硅氧烷。

优选的，所述醋酸的质量分数为10～20wt％。

优选的，所述双氧水的质量分数为20～30wt％。

优选的，所述表面活性剂的质量分数为1.5～3wt％。

优选的，所述消泡剂的质量分数为1.0～3wt％。

本发明提供一种合金蚀刻的方法，其特征在于，所使用的蚀刻液为上文所述的蚀刻液；

所述蚀刻的基材为三层膜层结构，从上至下依次为：第一金属氧化物层、铜层和第二金属氧化物层；

所述第一金属氧化物层中包含氧化铜、氧化锌和氧化铝；

所述第二金属氧化物层中包含氧化铜、氧化锌和氧化铝。

本发明提供了一种合金蚀刻液，由以下成分组成：醋酸：5～25wt％；双氧水：1～35wt％；表面活性剂：0.1～5wt％；消泡剂：0.1～5wt％；余量为去离子水。本发明针对图1中特殊的三明治结构，采用了醋酸与双氧水配伍，能够有效的控制蚀刻的速率，使不同层之间的蚀刻速率达到一致，提高蚀刻效果。实验结果表明，采用本申请中合金蚀刻液对图1中的三层合金结构进行蚀刻，蚀刻界面平整，速率可控，且表面无残留。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明所蚀刻膜层的结构示意图。

具体实施方式

本发明提供了一种合金蚀刻液，由以下成分组成：