[发明专利]一种合金蚀刻液及合金的蚀刻方法有效
| 申请号： | 201810542965.1 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN108611641B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 吴德生;崔子龙;林高 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/20;C23F1/30 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 蚀刻 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种合金蚀刻的方法，其特征在于，所使用的蚀刻液由以下成分组成：
醋酸：10～20wt％；双氧水：20～30wt％；表面活性剂：1.5wt％；消泡剂：1.0wt％；余量为去离子水；
所述蚀刻的基材为三层膜层结构，从上至下依次为：第一金属氧化物层、铜层和第二金属氧化物层；
所述第一金属氧化物层中包含氧化铜、氧化锌和氧化铝；
所述第二金属氧化物层中包含氧化铜、氧化锌和氧化铝。
2.根据权利要求1所述的合金蚀刻的方法，其特征在于，所述表面活性剂为月桂醇硫酸钠或木质素磺酸盐。
3.根据权利要求1所述的合金蚀刻的方法，其特征在于，所述消泡剂为聚二甲基硅氧烷。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信利光电股份有限公司，未经信利光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810542965.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种钛合金燃烧器喷嘴的加工方法
- 下一篇：一种镁锂合金浸锌后退锌溶液
