[发明专利]具有改进的电气特征的微机电谐振器

权利要求书

1.一种MEMS谐振器，包括：

基底；

移动结构，悬置在所述基底上方，并且所述移动结构的主延伸部在由彼此正交的第一水平轴线和第二水平轴线形成的水平平面中，所述结构包括彼此平行并且沿着所述第二水平轴线延伸的第一挠曲臂和第二挠曲臂，所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂通过第一横向接合元件和第二横向接合元件在所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂的相应的端部处耦合，所述第一横向接合元件和所述第二横向接合元件具有沿着所述第一水平轴线的延伸部以与所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂形成内部窗口；

第一电极结构，定位在所述窗口外部并且在所述水平平面中电容性耦合至所述移动结构；

第二电极结构，定位在所述窗口内部并且在所述水平平面中电容性耦合至所述移动结构，所述第一电极结构和所述第二电极结构中的一个电极结构具有引起所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂以对应的谐振频率沿着所述第一水平轴线在相反方向上的振荡移动的功能，并且所述第一电极结构和所述第二电极结构中的另一个电极结构具有检测所述振荡的功能；以及

悬置结构，被配置成将所述移动结构悬置在所述基底上方，所述悬置结构包括在所述窗口内部在所述第一横向接合元件与所述第二横向接合元件之间延伸的悬置臂、以及耦合至所述悬置臂并耦合至所述基底的附接装置，所述附接装置居中地定位在所述窗口中并且接近所述第二电极结构。

2.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其中所述悬置结构被配置成响应于与所述移动结构的所述振荡移动相关联的力而在所述附接装置处朝向所述基底提供基本上为零的能量耗散。

3.根据权利要求2所述的MEMS谐振器，其中所述悬置结构具有相对于相应地平行于所述第一水平轴线和所述第二水平轴线行进的第一对称轴线和第二对称轴线以及相对于所述水平平面中的所述MEMS谐振器的几何中心而对称的形状。

4.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其中所述附接装置包括一体地耦合至所述悬置臂的中心部分并一体地耦合至所述基底的中心附接件。

5.根据权利要求3所述的MEMS谐振器，其中所述附接装置包括第一附接件和第二附接件，并且其中所述悬置结构还包括定位在所述窗口内部的用于将所述悬置臂连接至所述第一附接件和所述第二附接件的连接元件，所述第一附接件和所述第二附接件相对于所述悬置臂侧向地定位成沿着所述第一水平轴线对准。

6.根据权利要求3所述的MEMS谐振器，其中所述悬置结构包括第一T形连接元件和第二T形连接元件、以及第一对附接件和第二对附接件，每个T形连接元件从所述悬置臂的中心部分延伸，所述第一对附接件和所述第二对附接件相对于所述悬置臂侧向地被定位，所述第一T形连接元件和所述第二T形连接元件具有它们的相应的端部，它们的相应的端部相应地耦合至所述第一对附接件和所述第二对附接件中的附接件。

7.根据权利要求6所述的MEMS谐振器，其中所述第一T形连接元件和所述第二T形连接元件在所述悬置臂与相应的第一对附接件和第二对附接件之间形成相应的双杠杆耦合。

8.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其中在所述水平平面中的所述窗口的几何中心和所述MEMS谐振器的几何中心附近，所述附接装置被定位在距所述第二电极结构的内电极的相应附接元件和距所述第一电极结构的外电极的相应附接元件的最小分离距离处。

9.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，还包括在所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂的中心部分处相应地耦合至所述移动结构的所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂的第一滑动元件和第二滑动元件，所述第一滑动元件和所述第二滑动元件在存在所述第一挠曲臂和所述第二挠曲臂的对应的振荡移动的情况下基本上不可变形。