[发明专利]基于径向偏振光照明反射式共焦收集谐波显微成像方法在审

专利信息
申请号: 201810498499.1 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN108918475A 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 王伟波;刘俭;吴必伟;谭久彬 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01N21/63 分类号: G01N21/63
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150001 黑*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 谐波信号 共焦 谐波 椭球面反射镜 径向偏振光 大数值孔径 显微成像 反射式 物镜 非线性光学效应 针孔 偏振态转换器 非线性光学 飞秒激光器 窄带滤光片 测量领域 成像物镜 成像样品 反射聚焦 混叠信号 脉冲激光 收集模块 显微测量 显微系统 样品放置 准直系统 波长光 近焦点 探测面 远焦点 激发 探测器 准直 成像 噪声 分辨 解析 测量 聚焦
【说明书】:

基于径向偏振光照明反射式共焦收集谐波显微成像方法属于非线性光学测量领域。飞秒激光器发出的脉冲激光先经过准直系统进行准直,再通过偏振态转换器变为径向偏振光后由大数值孔径物镜聚焦于椭球面反射镜远焦点后,由椭球面反射镜反射聚焦于成像样品处,样品放置于椭球面反射镜近焦点。由非线性光学效应可激发出谐波信号,所激发出的谐波信号由另一个大数值孔径物镜收集,经过窄带滤光片滤除非所需波长光后由成像物镜将谐波信号成像于探测器的探测面,实现谐波显微测量。所用的谐波收集模块采用共焦收集模式。共焦针孔的切趾作用可以有效的抑制混叠信号噪声对谐波信号解析的干扰,大大提高显微系统的测量分辨力。

技术领域

发明属于光学显微测量领域,主要涉及一种用于纳米器件和生物样品中三维微细结构测量的超精密非接触测量方法。

背景技术

利用样品自身的非线性光学效应,例如二次谐波生成,三次谐波生成,可进行生物样品无荧光标记的显微成像,纳米器件的微结构探测,疾病机理的诊断等。径向偏振光在聚焦的焦面处有强轴向偏振分量,是谐波生成的一种理想照明光模式。但是在谐波显微成像过程中,混叠信号噪声会对谐波信号的解析产生干扰,从而降低显微系统的测量分辨力。

谐波显微成像基于所收集的谐波散射信号,特征信息的尺度在衍射极限之下。传统显微方法收集到的光信息包含更多的是散射特性,而非样品自身特性。采用共焦收集方式,受散射特性影响较小,收集到的谐波信号更能反映样品自身的结构特性。

发明内容

本发明设计了一种基于径向偏振光照明反射式共焦收集谐波显微成像方法,共焦针孔的切趾作用可以有效的抑制混叠信号噪声对谐波信号解析的干扰,大大提高显微系统的测量分辨力,同时使收集到的谐波信号受散射特性影响较小,更好地反映样品自身的结构特性。

本发明的目的是这样实现的:

基于径向偏振光照明反射式共焦收集谐波显微成像方法,其理论基础为沃尔夫衍射积分理论。通过建立径向偏振光照明下的椭球反射镜后焦点附近电场的三维矢量模型,根据样品的非线性极化率张量矩阵,可以计算出所激发出的谐波极化场强度分布。结合共焦收集模式矢量表达式,探测器收集到谐波信号场可以计算得到。飞秒激光器发出的脉冲激光先经过准直系统进行准直,再通过偏振态转换器变为径向偏振光后由大数值孔径物镜聚焦于椭球面反射镜远焦点后,由椭球面反射镜反射聚焦于成像样品处,样品放置于椭球面反射镜近焦点。由非线性光学效应可激发出谐波信号,所激发出的谐波信号由另一个大数值孔径物镜收集,经过窄带滤光片滤除非所需波长光后由成像物镜将谐波信号成像于探测器的探测面,实现谐波显微测量。所述的谐波显微成像方法其特征在于将径向偏振光照明、反射式聚焦结构与共焦收集系统结合用于谐波显微成像。

上述的基于径向偏振光照明反射式共焦收集谐波显微成像方法,其特征在于采用共焦收集模块对谐波信号进行收集。

上述的基于径向偏振光照明反射式共焦收集谐波显微成像方法,其特征在于所述的共焦收集模块采用共焦针孔对谐波信号进行切趾。

由于本发明的谐波显微成像方法中,采用共焦针孔收集,共焦针孔的切趾作用可以有效的抑制混叠信号噪声对谐波信号解析的干扰,大大提高显微系统的测量分辨力。

附图说明

图1是基于径向偏振光照明反射式共焦收集谐波显微成像方法示意图。

图2是基于径向偏振光照明反射式共焦收集谐波显微成像方法反射式照明模块矢量模型坐标定义图。

图3是基于径向偏振光照明反射式共焦收集谐波显微成像方法共焦收集模块矢量模型坐标定义图。

图4是共焦收集方式和传统显微方式下探测面的胶原样品二次谐波信号横向强度分布对比图。

图5是共焦收集方式和传统显微方式下探测面的胶原样品二次谐波信号轴向强度分布对比图。

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