[发明专利]传输系统、加工系统、以及传输系统的控制方法

权利要求书

1.一种传输系统，其包括：

多个线圈；以及

滑架，所述滑架具有磁体并且能够根据所述磁体承受的来自所述多个线圈的电磁力而沿着所述多个线圈在第一方向上移动，

其中，所述滑架具有可移动机构，所述可移动机构被设置成能够与所述磁体互锁并且由所述磁体在与所述第一方向交叉的第二方向上承受的来自所述多个线圈的电磁力驱动。

2.根据权利要求1所述的传输系统，

其中，所述滑架具有多个磁体，并且

其中，所述可移动机构被设置成能够与所述多个磁体中的一些磁体互锁。

3.根据权利要求1或2所述的传输系统，

其中，所述滑架具有：

顶板；和

弹性构件，所述弹性构件设置在所述顶板和所述可移动机构之间。

4.根据权利要求1或2所述的传输系统，其中，所述磁体能够沿着所述第二方向移动，并且

所述传输系统还包括控制单元，所述控制单元基于根据所述磁体在所述第二方向上的位置而改变的推力常数控制施加到线圈的电流。

5.根据权利要求1或2所述的传输系统，其中，所述可移动机构是保持所述滑架上的工件的工件保持器。

6.一种传输系统，其包括：

多个线圈；以及

滑架，所述滑架具有第一磁体和第二磁体并且能够通过所述第一磁体承受的来自所述多个线圈的电磁力而沿着所述多个线圈在第一方向上移动，

其中，所述滑架具有可移动机构，所述可移动机构被设置成能够与所述第二磁体互锁并且由所述第二磁体在所述第一方向上承受的来自所述多个线圈的电磁力以及所述第二磁体在与所述第一方向交叉的第二方向上承受的来自所述多个线圈的电磁力驱动。

7.根据权利要求6所述的传输系统，其还包括控制单元，所述控制单元控制所述滑架的位置，

其中，所述控制单元预先计算所述第二磁体在所述第一方向上承受的电磁力，并且基于计算结果执行滑架位置的前馈控制。

8.根据权利要求6或7所述的传输系统，其中，所述可移动机构是保持所述滑架上的工件的工件保持器。

9.一种加工系统，其包括：

根据权利要求1至8中的任意一项所述的传输系统；以及

在由所述滑架传输的工件上执行加工操作的处理设备。

10.一种通过使用根据权利要求9所述的加工系统制造物品的制造方法，所述制造方法包括以下步骤：

由滑架传输工件；以及

由处理设备在由所述滑架传输的工件上执行加工操作。

11.一种传输系统的控制方法，所述控制方法包括：

通过磁体承受的来自多个线圈的电磁力使具有所述磁体的滑架沿着所述多个线圈在第一方向上移动；以及

通过所述磁体在与所述第一方向交叉的第二方向上承受的来自所述多个线圈的电磁力驱动可移动机构，所述可移动机构设置用于所述滑架并且被设置成能够与所述磁体互锁。

12.一种传输系统的控制方法，所述控制方法包括：

通过第一磁体承受的来自多个线圈的电磁力使具有第一磁体和第二磁体的滑架沿着所述多个线圈在第一方向上移动；以及

通过所述第二磁体在所述第一方向上承受的来自所述多个线圈的电磁力以及所述第二磁体在与所述第一方向交叉的第二方向上承受的来自所述多个线圈的电磁力驱动可移动机构，所述可移动机构设置用于所述滑架并且被设置成能够与所述第二磁体互锁。