[发明专利]一种CPU外壳纳米管散热薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种CPU外壳纳米管散热薄膜的制备方法，其特征是，包括如下步骤和工艺条件：

(1)将CPU金属盖表面依次用去污剂、自来水、异丙醇、去离子水，酒精分别进行清洗干净；

(2)将清洗后的CPU进行干燥处理；

(3)将步骤(2)中的CPU四周进行保护，预留拟溅射面进行磁控溅射；

(4)以步骤(3)中CPU的溅射面为阳极，钛网为阴极，在电解槽中、脉冲电压条件下进行阳极氧化；

(5)将步骤(4)中获得的CPU实验表面用去离子水进行清洗，并进行干燥处理；

步骤(3)中，磁控溅射功率为1～3kw，氩气流量为10～60sccm，腔体内部气压为0.5～2Pa；

步骤(3)中，磁控溅射旋转方式为自转，溅射时间为1～3h；

步骤(4)中，阳极氧化脉冲电压为40:10＝1:4，即：设置脉冲电压式阳极氧化，40V运行40s，10V运行160s，依次循环，其单位为伏特，阳极氧化时间为10min～1h，室温；

采用阳极氧化电解槽制备二氧化钛纳米管阵列薄膜，阳极氧化电解槽的结构如下：

电解槽左右两面分别开设相对应的CPU接触方形孔和CPU接触圆形孔，所述的电解槽左右两面外侧分别竖向设置挡板一和挡板二，挡板一上水平对称设置两个导向定位杆一，挡板一的上表面中心开设半圆形固定槽一，挡板二上水平对称设置两个导向定位杆二，挡板二的上表面中心开设半圆形固定槽二；两个导向定位杆一分别与电解槽左面水平对称开设的两个导向定位孔一插装配合，半圆形固定槽一与CPU接触方形孔相对应，CPU接触方形孔对应方形CPU外壳设计；两个导向定位杆二分别与电解槽右面水平对称开设的两个导向定位孔二插装配合，半圆形固定槽二与CPU接触圆形孔相对应，CPU接触圆形孔对应圆形CPU外壳设计；从而，挡板一、挡板二用于固定CPU，使CPU处理面与电解槽中的电解液接触；

电解槽的上面平行开设条形孔，条形孔的两侧开设圆形孔；条形孔用于固定对电极，不同距离的条形孔对应不同的阴阳极距离；圆形孔用于固定温度计，记录反应溶液的温度；以CPU溅射有Ti膜的面为阳极，钛网为阴极，接通电源进行阳极氧化，制备整齐排列的二氧化钛纳米管阵列薄膜。

2.根据权利要求1所述的CPU外壳纳米管散热薄膜的制备方法，其特征是，所述步骤(1)中，CPU金属盖表面先用纱布清洗5～10次，再冲洗5～10次。

3.根据权利要求1所述的CPU外壳纳米管散热薄膜的制备方法，其特征是，所述步骤(2)中，CPU金属盖表面的干燥气体为氮气。

4.根据权利要求1所述的CPU外壳纳米管散热薄膜的制备方法，其特征是，所述步骤(3)中，CPU四周用铝箔进行保护。

5.根据权利要求1所述的CPU外壳纳米管散热薄膜的制备方法，其特征是，所述步骤(4)中，电解槽中的电解液成分为乙二醇、丙三醇溶液中的一种，其中含有0.1～3％质量比的氟化铵、0.5～10％体积比的去离子水。

6.根据权利要求1所述的CPU外壳纳米管散热薄膜的制备方法，其特征是，所述步骤(5)中，CPU金属盖表面的清洗方式为冲洗，次数为5～10次。

7.根据权利要求1所述的CPU外壳纳米管散热薄膜的制备方法，其特征是，所述步骤(5)中，CPU金属盖表面的干燥气体为氮气。