[发明专利]静压滑动引导装置以及具备静压滑动引导装置的机床

说明书

本发明提供静压滑动引导装置和具备静压滑动引导装置的机床。静压滑动引导装置(40)具备：固定体(19)，具有第一纵引导面(16a)和第二纵引导面(17a)；活动体(14)，具有第一纵滑动面(14a1)和第二纵滑动面(14a2)；流体供给装置(33)；调压装置(38)；静压支承部(34)，被流体供给装置供给流体，由被作用与第一纵引导面和第一纵滑动面之间的第一间隙(L1)的大小相对应的流体压力(P1)，相对于活动体形成与第一间隙的大小相对应的支承刚度(G)；以及作用力产生部(35)，通过被供给由调压装置调压为规定流体压力(P2a)的流体，对活动体向第一纵引导面的方向施力。调压装置对规定流体压力的大小做调压，使第一间隙的大小达到设定值。

技术领域

本发明涉及静压滑动引导装置以及具备静压滑动引导装置的机床。

背景技术

以往，例如有如下静压滑动引导装置，其将由活动体和固定体构成的两个部件维持为非接触状态，减少两个部件相对移动时的摩擦，并且提高活动体对固定体的支承刚度，实现稳定的相对移动。例如，参见日本特开2013-221572号公报、日本实公昭57-57884号公报、日本特开2014-108503号公报、日本特开2006-231483号公报。具体而言，静压滑动引导装置在相对移动的两个部件的对置面中的一者，例如活动体的水平和竖直各一对滑动面中的各滑动面设置凹状的兜槽(Pocket)。

而且，向兜槽供给规定压力的空气、油等流体，向固定体的水平引导面和竖直引导面与活动体的同该各引导面分别对置的水平滑动面和竖直滑动面之间喷出流体，形成间隙。由此，将两个部件设为非接触状态，减少两个部件间的摩擦，提高滑动性，并且确保活动体对固定体的支承刚度。

此外，此时，所形成的间隙的大小、向兜槽供给的流体压力以及支承刚度之间存在相关关系。因此，为了确保所希望的支承刚度，尤其需要对竖直(纵)引导面和竖直(纵)滑动面间的间隙与流体压力之间的关系进行管理。针对于此，在日本特开2013-221572号公报、日本实公昭57-57884号公报、日本特开2014-108503号公报、日本特开2006-231483号公报中，向在设置于一对竖直(纵)滑动面上的左右两处兜槽中各兜槽，从流体供给装置(油泵等)经由规定的供给路径供给规定流体压力的流体，以谋求确保所希望的支承刚度。

然而，在日本特开2013-221572号公报的供给路径中，向一个兜槽和另一个兜槽都被经由固定节流阀供给固定压力的流体。因此，若拟确保所希望的支承刚度，则无法利用流体压力进行调整，因此需要严格管理各间隙的大小来加以应对。由此，需要在加工时，高精度地对固定体的一对引导面彼此之间的尺寸和活动体的一对滑动面彼此之间的尺寸进行管理。另外，在将活动体向固定体组装时，也需要精度优良地进行组装，因此组装工时增加。由此，有成本升高之虞。

另外，在日本实公昭57-57884号公报的供给路径中，经由固定节流阀向一个兜槽供给固定压力的流体，从油泵向另一个兜槽直接供给固定压力(排出压)的流体。另外，在日本特开2014-108503号公报的供给路径中，经由流体压力根据间隙的大小而相应变动的可调节流阀，向一个兜槽供给流体，从油泵向另一个兜槽直接供给固定压力(排出压)的流体。另外，在日本特开2006-231483号公报的供给路径中，经由通过调整获得所希望的调压值的调整式节流阀向一个兜槽供给流体，从油泵向另一个兜槽直接供给固定压力的流体。

这样，在日本实公昭57-57884号公报、日本特开2014-108503号公报、日本特开2006-231483号公报中，从油泵向另一个兜槽直接供给固定压力的流体。因此，如日本特开2013-221572号公报所示，即使不对一对引导面彼此之间的尺寸和各滑动面之间的尺寸严格管理，也能向至少一个兜槽侧的间隙施加足够大的流体压力。由此，能够在至少一个兜槽侧，获得相应的支承刚度。然而，此时，会无法实施对引导面与滑动面之间的间隙的管理。因此，也无法将与间隙具有较高相关性的支承刚度管理为最佳的值。因此，在希望将支承刚度设定为最佳值的情况下，与日本特开2013-221572号公报相同，需要对一对引导面彼此之间的尺寸和各滑动面之间的尺寸进行严格管理。

发明内容