[发明专利]静压滑动引导装置以及具备静压滑动引导装置的机床

权利要求书

1.一种静压滑动引导装置，具备：

固定体，其具有成为基准面的第一纵引导面和法线方向与所述第一纵引导面的法线方向为相反方向的第二纵引导面；

活动体，其具有与所述第一纵引导面对置的第一纵滑动面和与所述第二纵引导面对置的第二纵滑动面；

流体供给装置；

调压装置，其为调压器，能够将由所述流体供给装置供给的流体的流体压力调压为所希望的规定流体压力；

静压支承部，其设置于所述第一纵引导面或者所述第一纵滑动面，被所述流体供给装置供给流体，被作用与所述第一纵引导面和所述第一纵滑动面之间的第一间隙的大小相对应的流体压力，而相对于所述活动体形成与所述第一间隙的大小相对应的支承刚度；以及

作用力产生部，其设置于所述第二纵引导面或者所述第二纵滑动面，通过被供给由所述调压装置调压为所述规定流体压力的流体，而对所述活动体向所述第一纵引导面的方向施力，其中，

所述调压装置对所述规定流体压力的大小进行调压，以使所述第一间隙的大小达到设定值，

向所述静压支承部供给的所述流体经由可调节流阀供给，所述可调节流阀设置于从所述流体供给装置到所述静压支承部的供给路径上，使所述流体压力根据所述第一间隙的大小形成变动。

2.根据权利要求1所述的静压滑动引导装置，其中

所述第一间隙的所述设定值基于所述第一间隙的大小和与所述第一间隙的大小相对应的所述流体压力之间的关系设定，以获得所希望的所述支承刚度。

3.根据权利要求1中所述的静压滑动引导装置，其中

所述固定体在所述第一纵引导面和所述第二纵引导面各自正交平面上具有一对水平引导面，

所述活动体具有分别与所述一对水平引导面对置的一对水平滑动面。

4.一种机床，具有对工作物进行加工的工具，包括权利要求1或者2所述的静压滑动引导装置，其中，

所述工作物和工具中的一者设置于所述活动体，

所述工作物和工具中的另一者设置于所述固定体。