[发明专利]一种宽温高稳定性温度自适应平坦化补偿装置

权利要求书

1.一种宽温高稳定性温度自适应平坦化补偿装置，其特征在于：包括底板(1)和至少两个温度驱动器(2)，底板(1)包括移动部Ⅰ(1-1)、移动部Ⅱ(1-2)和旋转连接轴(1-3)，移动部Ⅰ(1-1)和移动部Ⅱ(1-2)之间设置有间隙，旋转连接轴(1-3)设置在间隙内并将移动部Ⅰ(1-1)和移动部Ⅱ(1-2)连接在一起；在移动部Ⅰ(1-1)侧端设置有凸耳Ⅰ(1-4)和凸耳Ⅱ(1-5)，在移动部Ⅱ(1-2)侧端设置有凸耳Ⅲ(1-6)，凸耳Ⅰ(1-4)、凸耳Ⅱ(1-5)和凸耳Ⅲ(1-6)相对应，在凸耳Ⅰ(1-4)和凸耳Ⅲ(1-6)之间、凸耳Ⅱ(1-5)和凸耳Ⅲ(1-6)之间分别安装有温度驱动器(2)，且温度驱动器之间至少有一个温度驱动器(2)的一端固定、另一端活动，至少有一个温度驱动器的两端固定；底板(1)的膨胀系数和温度驱动器(2)的膨胀系数不同；

所述移动部Ⅰ(1-1)、移动部Ⅱ(1-2)和旋转连接轴(1-3)是底板(1)通过挖空形成的一体结构；

所述旋转连接轴(1-3)为三个，其中，第一旋转连接轴水平设置，第二旋转连接轴竖直设置，第三旋转连接轴设置在第一旋转连接轴和第二旋转连接轴之间为一倾斜角度；

所述温度驱动器为两个，分别为第一温度驱动器(2-1)和第二温度驱动器(2-2)，第一温度驱动器(2-1)固定在凸耳Ⅰ(1-4)和凸耳Ⅲ(1-6)之间，第二温度驱动器(2-2)安装在凸耳Ⅱ(1-5)和凸耳Ⅲ(1-6)之间，且第二温度驱动器(2-2)的一端为自由端，另一端固定在凸耳Ⅱ(1-5)或凸耳Ⅲ(1-6)上；

所述旋转连接轴(1-3)位于同一平面且移动部Ⅰ(1-1)和移动部Ⅱ(1-2)在该平面内相互平移或转动。

2.根据权利要求1所述的宽温高稳定性温度自适应平坦化补偿装置，其特征在于：所述温度驱动器之间的几何关系是平行、垂直或其他任意角度。

3.一种宽温高稳定性温度自适应平坦化补偿装置，其特征在于：包括底板(1)和至少两个温度驱动器(2)，底板(1)包括移动部Ⅰ(1-1)、移动部Ⅱ(1-2)和旋转连接轴(1-3)，移动部Ⅰ(1-1)和移动部Ⅱ(1-2)之间设置有间隙，旋转连接轴(1-3)设置在间隙内并将移动部Ⅰ(1-1)和移动部Ⅱ(1-2)连接在一起；在移动部Ⅰ(1-1)侧端设置有凸耳Ⅰ(1-4)和凸耳Ⅱ(1-5)，在移动部Ⅱ(1-2)侧端设置有凸耳Ⅲ(1-6)，凸耳Ⅰ(1-4)、凸耳Ⅱ(1-5)和凸耳Ⅲ(1-6)相对应，在凸耳Ⅰ(1-4)和凸耳Ⅲ(1-6)之间、凸耳Ⅱ(1-5)和凸耳Ⅲ(1-6)之间分别安装有温度驱动器(2)，且温度驱动器之间至少有一个温度驱动器(2)的一端固定、另一端活动，至少有一个温度驱动器的两端固定；底板(1)的膨胀系数和温度驱动器(2)的膨胀系数不同；

所述移动部Ⅰ(1-1)、移动部Ⅱ(1-2)和旋转连接轴(1-3)是底板(1)通过挖空形成的一体结构；

所述旋转连接轴(1-3)为三个，其中，第一旋转连接轴水平设置，第二旋转连接轴竖直设置，第三旋转连接轴设置在第一旋转连接轴和第二旋转连接轴之间为一倾斜角度；

所述温度驱动器为两个，分别为第一温度驱动器(2-1)和第二温度驱动器(2-2)，第一温度驱动器(2-1)安装在凸耳Ⅰ(1-4)和凸耳Ⅲ(1-6)之间，且第一温度驱动器(2-1)的一端为自由端，另一端固定在凸耳Ⅰ(1-4)或凸耳Ⅲ(1-6)上；第二温度驱动器(2-2)固定在凸耳Ⅱ(1-5)和凸耳Ⅲ(1-6)之间；

所述旋转连接轴(1-3)位于同一平面且移动部Ⅰ(1-1)和移动部Ⅱ(1-2)在该平面内相互平移或转动。

4.根据权利要求3所述的宽温高稳定性温度自适应平坦化补偿装置，其特征在于：所述温度驱动器之间的几何关系是平行、垂直或其他任意角度。