[发明专利]一种高钪含量铝钪合金溅射靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种高钪含量铝钪合金溅射靶材及其制备方法，其特征在于：

所述高钪含量铝钪合金溅射靶材中钪元素的质量百分含量为40％-90％，铝元素的质量百分含量为10％-60％，所述高钪含量铝钪合金溅射靶材的致密度>99％，厚度为2-35mm；

所述高钪含量铝钪合金溅射靶材的制备方法包括以下步骤：

步骤一、备料：按所述高钪含量铝钪合金溅射靶材的铝钪质量百分含量比Al(10％-60％)：Sc(90％-40％)计算出单炉制粉所需的原料铝、原料钪的质量，分别称取单炉原料铝和单炉原料钪备用，

步骤二、真空熔炼：将所述单炉原料铝和单炉原料钪放入真空熔炼喷雾制粉炉中，真空熔炼至完全合金化，制备铝钪合金粉，

步骤三、筛选：将所述铝钪合金粉采用-200目数的筛子，筛取粒度小于200目的原料，制备铝钪合金靶材原料粉，

步骤四、烧结制坯：将筛选取的所述铝钪合金靶材原料粉装入模具，采用预压液压机预压，将所述模具装入烧结炉，抽真空，充氩气洗炉，再抽真空，然后，设定升温和加压程序，启动烧结，充氩气，出炉，测试合格的制备铝钪合金靶材坯，

步骤五、铣磨出料：将制备的所述铝钪合金靶材坯按尺寸要求进行车、铣、磨机械加工后出料，完成制备，构成所述一种高钪含量铝钪合金溅射靶材及其制备方法。

2.根据权利要求1所述一种高钪含量铝钪合金溅射靶材及其制备方法，其特征在于：所述高钪含量铝钪合金溅射靶材及其制备方法的技术参数为：所述原料铝的纯度为99.9995％；所述原料钪的纯度99.95％；所述铝钪合金粉的钪含量为40％-90％质量比；所述模具为陶瓷模具、石墨模具或硬质合金模具，所述预压液压机的压力为0-30Mpa；所述再抽真空的压力为-1×10^-2Mpa至-1×10^-3Mpa；所述设定升温和加压程序中设定升温速率为350℃/h，保温时间为：120min，压力为30-80Mpa。

3.根据权利要求1所述一种高钪含量铝钪合金溅射靶材及其制备方法，其特征在于：所述铝钪合金靶材坯制备后，采用喷砂机除去所述铝钪合金靶材坯表面的石墨纸，然后进行打磨处理，再进行致密度相关测试。

4.根据权利要求1所述一种高钪含量铝钪合金溅射靶材及其制备方法，其特征在于：所述铝钪合金靶材坯按图纸进行车、铣、磨加工完成后，放入超声波清洗设备里进行清洗，然后真空包装。