[发明专利]一种半导体激光器合束装置在审
| 申请号： | 201810401368.7 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108321677A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 李大汕;赵亚平;张倩;周权 | 申请（专利权）人： | 上海高意激光技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;G02B27/09 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 臧云霄;钟宗 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射光栅 透镜 半导体激光器 合束装置 合束 衍射 半导体增益介质 光束整形元件 输出耦合镜 垂直入射 输出功率 输入设备 依次排列 光栅 高效率 合束光 后焦点 模块式 前焦点 衍射角 多路 光路 两路 光谱 激光 汇聚 输出 | ||
1.一种半导体激光器合束装置，其特征在于，包括：
至少两路模块式激光输入设备，所述模块式激光输入设备包括：沿光路方向依次排列的产生光束的半导体激光器、光束整形元件、变换透镜以及第一衍射光栅，所述半导体激光器位于所述变换透镜的前焦点，所述第一衍射光栅位于所述变换透镜的后焦点之前；
第二衍射光栅，各路光束由所述变换透镜汇聚后分别通过各自的所述第一衍射光栅衍射到达同一个所述第二衍射光栅，各路光束在第二衍射光栅上有相同的位置和衍射角实现合束；以及
输出耦合镜，经过所述第二衍射光栅后的合束光垂直入射到所述输出耦合镜输出。
2.根据权利要求1所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述模块式激光输入设备中的半导体激光器的输出光轴相互平行。
3.根据权利要求1所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述半导体激光器是单个半导体激光器发光单元、一维阵列排列的半导体激光器巴条、二维阵列排列的半导体激光器叠阵中的一种。
4.根据权利要求1所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述第一衍射光栅和第二衍射光栅均为透射式光栅。
5.根据权利要求1所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述第一衍射光栅和第二衍射光栅均为反射式光栅。
6.根据权利要求1所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述第一衍射光栅是透射式光栅，第二衍射光栅均为反射式光栅。
7.根据权利要求1所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述第一衍射光栅是反射式光栅，第二衍射光栅均为透射式光栅。
8.根据权利要求1所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述半导体激光器的前端面镀增透膜，反射率<1％，后腔面镀高反膜，反射率>95％。
9.根据权利要求1所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述光束整形元件是以下三种中的任意一种：
快轴准直镜；
快轴准直镜和慢轴准直镜的组合；
快轴准直镜和45°斜柱透镜阵列的组合。
10.根据权利要求1至9中任意一项所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述第一衍射光栅和第二衍射光栅在1级或者-1级次的衍射效率大于90％。
11.根据权利要求1至9中任意一项所述的半导体激光器合束装置，其特征在于，所述变换透镜是以下四种中的任意一种：
单个球面柱透镜；
多个球面柱透镜组成的透镜组；
单个非球面柱透镜；
多个非球面柱透镜组成的透镜组。
12.根据权利要求1至9中任意一项所述的半导体激光器合束装置，其特征在于：所述输出耦合镜为部分反射镜，反射率为5％～30％。
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