[发明专利]一种高世代钼靶材的生产方法

权利要求书

1.一种高世代钼靶材的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、将两种钼粉：A粉和B粉，在真空条件下混合，过筛后得到混合粉料；

其中，平均粒度为2.8～3.2μm的钼粉称为A粉；

平均粒度为4.0～4.6μm的钼粉称为B粉；

A粉和B粉的质量百分比为(20%～60%)：(40%～80%)；

步骤二、将步骤一所得混合粉料装入等静压模具内，进行等静压处理，得到压坯；

步骤三、将步骤二所得压坯进行烧结处理，得到钼板坯；

步骤四、在氢气气氛下，对步骤三所得钼板坯进行至少3道次轧制，轧制的总压下率为75%～85%，每道次轧制的加热温度为1200～1250℃，每道次轧制的压下率为20%～35%，将轧制后的板材进行校平，得到钼板材；

步骤五、将步骤四所得钼板材进行真空退火处理，得到钼靶材半成品；

步骤六、将步骤五所得钼靶材半成品进行水切割、铣削加工、磨床加工，得到所述高世代钼靶材；

所述等静压模具包括刚性模外套、软质内模套和软模盖，软质内模套位于刚性模外套的内腔中，软模盖将软质内模套的上端口封闭，所述刚性模外套、软质内模套和软模盖的密封口处依次叠加，通过刚性模盖及螺杆螺帽密封，所述刚性模外套为金属件，包括外模套本体和外模套本体上端的密封法兰，外模套本体为由侧板和底板围成的整体件，侧板和底板上均布有施压孔，底板周缘有施压缝，所述软质内模套为天然橡胶材质。

2.根据权利要求1所述的高世代钼靶材的生产方法，其特征在于，A粉和B粉的质量百分比为40%：60%；

所述A粉中钼的含量≥99.94%，控制杂质的含量：Cd≤0.0005%；Fe≤0.005%；Ni≤0.003%；Cu≤0.001%；Al≤0.001%；Si≤0.001%；Ca≤0.001%；Mg≤0.002%；C≤0.004%；N≤0.015%；O≤0.2%；K≤0.01%；W≤0.025%；Ti≤0.001%；Co≤0.001%；Ta≤0.001%；S≤0.002%；非气体元素杂质总量≤0.06%；

所述B粉中钼的含量≥99.94%，控制杂质的含量：Cd≤0.0005%；Fe≤0.005%；Ni≤0.003%；Cu≤0.001%；Al≤0.001%；Si≤0.001%；Ca≤0.001%；Mg≤0.002%；C≤0.004%；N≤0.015%；O≤0.15%；K≤0.01%；W≤0.025%；Ti≤0.001%；Co≤0.001%；Ta≤0.001%；S≤0.002%；非气体元素杂质总量≤0.06%。

3.根据权利要求1所述的高世代钼靶材的生产方法，其特征在于，采用V型混料机，将A粉和B粉在真空条件下混合，V型混料机的转速为10～20圈/min，混料时间为2～6h。

4.根据权利要求1所述的高世代钼靶材的生产方法，其特征在于，采用三元旋振过筛机将混合后的A、B两种钼粉进行过筛，筛网为120目的不锈钢筛网。

5.根据权利要求1所述的高世代钼靶材的生产方法，其特征在于，采用自动装料机将混合粉料装入设计好的等静压模具内，具体过程为：

A) 将制作好的软质内模套放入钢性模外套内，钢模放入自动装料机，并通过电磁将模具固定好；

B) 将经过前期处理好的钼粉倒入料斗；

C) 设计好下料重量，选择三向振动工作模式；

D) 启动自动装料机，边下料边振动；

E) 装料完成后，断开电磁开关，并将模具取出；

F) 将软模盖嵌入软质内模套，钢性模盖压在软模盖上，通过螺杆螺帽将钢性模外套、软质内模套、软膜盖、钢性模盖连接固定，确保软模密封完好，待等静压。