[发明专利]显示面板及其制造方法、显示装置有效
申请号: | 201810371300.9 | 申请日: | 2018-04-24 |
公开(公告)号: | CN108598291B | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 孙诗;谢学武;刘浩;张阿猛;艾雨;刘博文;孔玉宝 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李浩;王莉莉 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辅助阴极 主阴极 尖端结构 显示面板 显示装置 制造 工艺过程 生产效率 电连接 连接件 放电 良率 | ||
本公开提供了一种显示面板及其制造方法、显示装置,涉及显示技术领域。该制造方法包括:形成辅助阴极;在该辅助阴极层上形成尖端结构;形成主阴极层,其中,该尖端结构在该辅助阴极与该主阴极之间;以及通过尖端结构放电使得在主阴极层与辅助阴极层之间形成连接件,从而使得该主阴极层与该辅助阴极层电连接。该制造方法的工艺过程比较简单,可以提高生产效率和良率。
技术领域
本公开涉及显示技术领域,特别涉及一种显示面板及其制造方法、显示装置。
背景技术
对于OLED(Organic Light Emitting Diode,有机发光二极管)器件,光可以从阴极层一侧出射,因而阴极层需要具有较佳的透过率。除此之外,有机发光二极管器件还需要具有较低的方块电阻。在相关技术的阴极层中,为了保证较佳的透过率,需要将阴极做的很薄。但是这样会导致方块电阻增加,从而使得驱动电压升高,且电压稳定性降低。
相关技术中可以增加辅助阴极来降低方块电阻。例如可以利用激光将阴极层与辅助阴极导通。
发明内容
本公开的发明人发现,相关技术中使阴极层与辅助阴极导通的方法的生产效率或良率比较低。
根据本公开实施例的一个方面,提供了一种显示面板的制造方法,包括:形成辅助阴极层;在所述辅助阴极层上形成尖端结构;形成主阴极层,其中,所述尖端结构在所述辅助阴极层与所述主阴极层之间;以及通过所述尖端结构放电使得在所述主阴极层与所述辅助阴极层之间形成连接件,从而使得所述主阴极层与所述辅助阴极层电连接。
可选地,对所述主阴极层和所述辅助阴极层施加电性相反的电压,或者,利用静电发生装置在所述辅助阴极层上产生静电,以使得所述尖端结构放电。
可选地,所述尖端结构包括凸起颗粒物。
可选地,在形成所述主阴极层之前,所述制造方法还包括:形成驱动晶体管,所述驱动晶体管包括栅极、源极和漏极,在形成所述栅极、所述源极或所述漏极的过程中形成所述辅助阴极层,所述辅助阴极层的材料包括所述栅极、所述源极和所述漏极的材料中的至少一种;其中,通过对所述辅助阴极层执行刻蚀操作以形成所述凸起颗粒物。
可选地,在形成所述主阴极层之前,所述制造方法还包括:形成阳极层,在形成所述阳极层的过程中形成所述辅助阴极层,所述辅助阴极层的材料包括所述阳极层的材料;其中,刻蚀所述辅助阴极层,通过调节刻蚀速率来形成所述凸起颗粒物。
可选地,在形成所述辅助阴极层之后,所述制造方法还包括:形成像素定义层,所述像素定义层的一部分还形成在所述辅助阴极层上;其中,对所述像素定义层的在所述辅助阴极层上的部分执行刻蚀,以形成凸起颗粒物。
可选地,形成所述尖端结构的步骤包括:在所述辅助阴极层上形成光致抗蚀剂;和对所述光致抗蚀剂执行光刻以形成凸起颗粒物。
可选地,所述尖端结构为所述辅助阴极层的边缘;形成所述尖端结构的步骤包括:对所述辅助阴极层的侧面刻蚀,使得所述辅助阴极层的侧面凹入,从而使得所述辅助阴极层的边缘形成尖端结构。
可选地,在形成所述主阴极层之前,在背板玻璃上形成所述辅助阴极层,在形成所述主阴极层之前,所述制造方法还包括:形成有机层,在形成所述主阴极层之后,所述有机层的一部分位于所述主阴极层与所述辅助阴极层之间;其中,对所述辅助阴极层施加负电压,对所述主阴极层施加正电压。
可选地,所述电性相反的电压中的至少一个电压为电压大小随时间变化的电压。
根据本公开实施例的另一个方面,提供了一种显示面板,包括:主阴极层;辅助阴极层,其中,在所述辅助阴极层的靠近所述主阴极层的表面上具有尖端结构;以及连接件,在所述主阴极层与所述辅助阴极层之间,分别与所述主阴极层和所述辅助阴极层电连接,所述连接件覆盖所述尖端结构。
可选地,所述尖端结构包括凸起颗粒物。
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