[发明专利]一种新型的半导体材料生产技术设备在审
申请号: | 201810349240.0 | 申请日: | 2018-04-18 |
公开(公告)号: | CN108789069A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 陆伟城 | 申请(专利权)人: | 广州粤晟科技有限公司 |
主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B55/06;B24B41/02;B24B41/06;B24B29/02;B24B41/00 |
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地址: | 510000 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 行腔 左右两侧 传递腔 锥形轮 半导体材料 生产技术 安装架 导引槽 生产 滑动配合连接 转动配合连接 左右对称设置 动力配合 抛光装置 主体内部 转向轴 内壁 伸进 通腔 贯通 | ||
本发明公开了一种新型的半导体材料生产技术设备,包括生产主体,所述生产主体内部设有第一滑行腔,所述第一滑行腔左右两侧内壁内相对称设有导引槽,所述第一滑行腔下侧的所述生产主体内设有第二滑行腔,所述第一滑行腔与所述第二滑行腔之间的部分内贯通设有通腔,所述第一滑行腔上侧的所述生产主体内设有传递腔,左右两侧所述导引槽与所述传递腔之间的部分内转动配合连接有伸进所述传递腔内的第一锥形轮,所述转向轴上固设有左右对称设置且分别与左右两侧所述第一锥形轮动力配合连接的第二锥形轮,所述第一滑行腔内滑动配合连接有安装架,所述安装架内设有抛光装置。
技术领域
本发明涉及半导体材料生产技术领域,具体为一种新型的半导体材料生产技术设备。
背景技术
半导体材料在生产加工过程中,外表面容易出现部平整,一般需要进行抛光工作,传统的抛光方式速度慢效率低,同时在抛光过程中碎屑飞溅、磨屑飘扬,损害对操作人员的健康,且抛光操作步骤繁琐,因此亟需研发一种抛光效果好、省时省力、工作效率高的新型的半导体材料生产技术设备。
发明内容
本发明的目的在于提供一种,用于克服现有技术中的上述缺陷。
根据本发明的一种新型的半导体材料生产技术设备,包括生产主体,所述生产主体内部设有第一滑行腔,所述第一滑行腔左右两侧内壁内相对称设有导引槽,所述第一滑行腔下侧的所述生产主体内设有第二滑行腔,所述第一滑行腔与所述第二滑行腔之间的部分内贯通设有通腔,所述第一滑行腔上侧的所述生产主体内设有传递腔,左右两侧所述导引槽与所述传递腔之间的部分内转动配合连接有伸进所述传递腔内的第一锥形轮,所述转向轴上固设有左右对称设置且分别与左右两侧所述第一锥形轮动力配合连接的第二锥形轮,所述第一滑行腔内滑动配合连接有安装架,所述安装架内设有抛光装置,所述第二滑行腔内滑动配合连接有安装台,所述导引槽与所述第二滑行腔之间的部分内间隙配合连接有上下延伸设置的转向杆,所述转向杆顶部延伸末端伸进所述导引槽内且与所述第一锥形轮底部末端动力配合连接,所述转向杆底部延伸末端伸进所述第二滑行腔内且与所述第二滑行腔内底壁转动配合连接,所述导引槽内的所述转向杆上设有第一螺形部,所述第二滑行腔内的所述转向杆上设有第二螺形部,所述第一螺形部上螺纹配合连接有与所述安装架固定配合连接的导引块,所述第二螺形部与所述安装台螺纹配合连接,所述安装台顶部端面内设有与所述通腔相对设置的放置槽,所述放置槽前侧端贯穿所述安装台前侧端面,所述放置槽内底壁内设有沉槽,所述沉槽左侧内壁内相通设有向上延伸设置的推行槽,所述推行槽右侧顶部延伸末端与放置槽左侧端相通设置,所述推行槽内滑动配合连接有推行块,所述推行块内设有穿槽,所述穿槽内滑动配合连接有上下延伸设置的导引杆,所述导引杆上下延伸末端分别与所述推行槽上下内壁固定连接,所述导引杆左侧的所述穿槽内顶压配合连接有弹力片,所述推行块左侧末端固设有斜形部,位于所述通腔左侧的所述第二滑行腔内顶部上固设有斜形块,所述斜形块相对的所述安装台的顶部端面内开设有与所述推行槽左侧末端相通设置的口腔,所述放置槽后侧内壁内固设有推出装置,所述生产主体前侧端面内设有与所述第二滑行腔相通的半导体放入口,所述生产主体左右两侧端面还设置有手抬装置。
进一步的技术方案,所述第一锥形轮上侧的所述传递腔内设有左右延伸设置的转向轴,所述转向轴左侧延伸末端与第一电动机动力配合连接,所述第一电动机外表面固嵌于所述传递腔左侧内壁内,所述转向轴右侧延伸末端与所述传递腔右侧内壁转动配合连接。
进一步的技术方案,所述抛光装置设置在所述安装架底部端面内的转向槽以及转动配合连接设置在所述转向槽内的转向盘,所述转向槽内顶壁内固设有底部末端与所述转向盘顶部端面动力配合连接的第二电动机,所述转向盘底部端面内设有调节槽,所述调节槽内滑动配合连接有调节块,所述调节块内螺纹配合连接有左右延伸设置的螺形杆,所述螺形杆左侧延伸末端与第三电动机动力配合连接,所述第三电动机外表面固嵌于所述调节槽左侧内壁内,所述螺形杆右侧延伸末端与所述调节槽右侧内壁转动配合连接,所述调节块底部端面内固设有第四电动机,所述第四电动机底部末端动力连接有伸出所述调节块底部端面外的抛光轮。
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