[发明专利]一种在云母衬底上制备硒化铋纳米片的方法在审
申请号: | 201810342828.3 | 申请日: | 2018-04-17 |
公开(公告)号: | CN108467018A | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 俞金玲;谷鹏;曾晓琳;程树英;赖云锋;郑巧;周海芳;赵宜升 | 申请(专利权)人: | 福州大学 |
主分类号: | C01B19/04 | 分类号: | C01B19/04;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊;李翠娥 |
地址: | 350108 福建省福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 云母 纳米片 衬底 硒化铋 制备 生长 化学气相沉积 无催化剂辅助 广阔应用 生长设备 管式炉 石英管 源材料 | ||
1.一种在云母衬底上制备硒化铋纳米片的方法,其特征在于:包括以下步骤:
1)取一定量的高纯度硒化铋粉末放在石英舟的一端作为源材料,新鲜剥离的云母衬底放在距离源材料一定距离的载气下游位置,然后将石英舟放置于直径6cm的单口石英管中,高纯氩气作为载气去运输源材料蒸汽,一根直径5mm的细石英管插入单口石英管中用于输送气体;
2)先用机械泵对化学气相沉积法系统进行抽真空,然后用高纯氩气洗气3次以上来排尽石英管内残余的氧气;
3)将管式炉达到设定的生长温度600℃时,将石英管推入管式炉中,使源材料位于管式炉的中心位置,同时打开气体流量计通入高纯氩气,控制生长时间为30min,待生长结束后将石英管从管式炉中取出并让其自然冷却至室温,最后关闭气体,取出样品。
2.根据权利要求1所述的在云母衬底上制备硒化铋纳米片的方法,其特征在于:步骤1)中高纯度硒化铋粉末的质量为0.3g,源材料与云母衬底之间的距离为30-37cm。
3.根据权利要求1所述的在云母衬底上制备硒化铋纳米片的方法,其特征在于:步骤2)中系统抽真空为15Pa。
4.根据权利要求1所述的在云母衬底上制备硒化铋纳米片的方法,其特征在于:步骤3)中管式炉高纯氩气流量为50-90sccm,生长气压为65-80Pa。
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