[发明专利]一种微电子元器件旋转清洗装置

权利要求书

1.一种微电子元器件旋转清洗装置，其特征在于，包括清洗槽(1)、驱动装置(2)和旋转喷射装置(3)，所述清洗槽(1)上方设有延伸板(10)，且延伸板(10)与清洗槽(1)固定连接，所述清洗槽(1)内部设有放置台(11)，所述延伸板(10)左侧设有竖直架板(10-1)，所述竖直架板(10-1)上设有电机固定板(10-11)，所述清洗槽(1)正上方位置设有旋转座一(10-2)，且旋转座一(10-2)通过螺栓固定在延伸板(10)上，所述延伸板(10)上设有四组支柱(10-2)，所述支柱(10-3)上端设有顶板(10-4)，所述顶板(10-4)中间位置设有旋转座二(10-41)，且旋转座二(10-41)通过螺栓固定在顶板(10-4)上，所述驱动装置(2)包括伺服电机(20)、链轮一(21)、链轮二(22)和链条(23)，所述伺服电机(20)固定在电机固定板(10-11)，所述旋转喷射装置(3)包括旋转管(30)和旋转喷射管(31)，所述链轮一(21)固定在伺服电机(20)的输出轴上，所述链轮二(22)固定在旋转管(30)上，所述链条(23)通过链轮一(21)和链轮二(22)张紧，所述旋转管(30)穿过旋转座一(10-2)和旋转座二(10-41)进入清洗槽(1)内部，且与旋转座一(10-2)和旋转座二(10-41)均固定连接，所述旋转喷射管(31)上端与旋转管(30)固定连接，所述旋转喷射管(31)上设有竖直喷射管(31-1)和横向喷射管(31-2)。

2.根据权利要求1所述的一种微电子元器件旋转清洗装置，其特征在于，所述竖直喷射管(31-1)上设有横向喷头(31-11)，所述横向喷射管(31-2)上设有竖直喷头(31-21)，所述横向喷头(31-11)和竖直喷头(31-21)均为铜制喷头。

3.根据权利要求1所述的一种微电子元器件旋转清洗装置，其特征在于，所述旋转喷射管(31)上部设有流量调节阀(31-3)。

4.根据权利要求1所述的一种微电子元器件旋转清洗装置，其特征在于，所述放置台(11)上设有定位销(11-1)。

5.根据权利要求1所述的一种微电子元器件旋转清洗装置，其特征在于，所述旋转管(30)上端设有进水管接头(30-1)，所述进水管接头(30-1)与旋转管(30)可转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种微电子元器件旋转清洗装置，其特征在于，所述清洗槽(1)下方设有排污套管(12)。

7.根据权利要求1所述的一种微电子元器件旋转清洗装置，其特征在于，所述清洗槽(1)正面需装防水门，所述防水门采用透明树脂材料制成。