[发明专利]有机发光显示器件阴极隔离柱的制备方法有效
申请号: | 201810332311.6 | 申请日: | 2018-04-13 |
公开(公告)号: | CN108539054B | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 周小红;基亮亮;谢文;肖江梅;刘麟跃 | 申请(专利权)人: | 苏州维业达触控科技有限公司;苏州大学 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 蔡光仟 |
地址: | 215026 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光 显示 器件 阴极 隔离 制备 方法 | ||
本发明公开了一种有机发光显示器件阴极隔离柱的制备方法。首先制备压印模具,在模具上得到预先设计的凸型结构图案;在ITO衬底上均匀涂覆一层紫外固化胶,待其自由流平形成一压印层;模具压入压印层,使紫外固化胶充满模具的凸型结构图案,通过曝光使紫外固化胶发生反应硬化成型;释放压力将模具脱离ITO衬底;对ITO衬底进行反应离子刻蚀除去残留的紫外固化胶,得到与模具等比例的凸型结构;将ITO衬底倒置,通过微接触法在凸型结构的顶部粘上紫外固化胶,静置成型;采用UV光源照射固化,得到阴极隔离柱。采用紫外压印技术,在室温和常压下制备阴极隔离柱,工艺简单、步骤少、且不会引入水汽,大大提高OLED器件寿命,像素分辨率明显提高。
技术领域
本发明涉及一种有机发光显示器件阴极隔离柱技术,特别是有机发光显示器件阴极隔离柱的制备方法。
背景技术
OLED(Organic Light Emitting Display),有机发光显示器件由于其高亮度、宽视角及柔性轻型等特点而被广泛关注并深入研究。有机发光器件通常由第一电极(透明阳极)、沉积在第一电极上的发光介质、沉积在发光介质上的第二电极(阴极)构成。为了实现无源矩阵OLED的高分辨率和彩色化,更好地解决阴极模板分辨率低和器件成品率低等问题,人们在研究中引入了具有倒梯形或者T形截面的条纹结构作为阴极隔离柱,将发光显示器件的不同像素隔开,避免相邻像素间的短路问题。
已有技术一般采用曝光的方式制备阴极隔离柱,例如在透明基片上旋涂第一层光敏有机绝缘材料,一般为光敏型PI、前烘后曝光,曝光图形为网状结构或条状结构,线条的宽度由显示分辨率即像素之间间隔决定,然后进行后烘。然后曝光好的有机绝缘材料上旋涂第二层光敏型有机绝缘材料,一般为光刻后线条横截面能形成上大下小倒梯形形状的光刻胶中的一种,一般为负型光刻胶,前烘后对第二层有机绝缘体材料进行曝光,曝光图形为直线条。上述制备方法通过二次曝光工艺来制作,刻蚀后在阴极隔离柱中总有水蒸汽遗留,或者阴极隔离柱表面总会有水蒸汽扩散、蒸发上去,有机发光材料会由于这些遗留水蒸汽的影响,沿着阴极隔离柱的走向产生像素收缩,影响发光器件寿命。
发明内容
本发明的目的在于提供一种有机发光显示器件阴极隔离柱的制备方法,所述制备方法工艺简单、步骤少、且不会引入水汽,使得发光器件寿命大大提高,且紫外固化胶透明,可使OLED器件全区域透明。
本发明解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。
本发明提供一种有机发光显示器件阴极隔离柱的制备方法,包括:
S1)制备压印模具,在模具上得到预先设计的凸型结构图案;
S2)在ITO衬底上均匀涂覆一层紫外固化胶,待其自由流平形成一压印层;
S3)模具压入压印层,使紫外固化胶充满模具的凸型结构图案,通过曝光使紫外固化胶发生反应硬化成型;
S4)释放压力将模具脱离ITO衬底;
S5)对ITO衬底进行反应离子刻蚀除去残留的紫外固化胶,得到与模具等比例的凸型结构;
S6)将ITO衬底倒置,通过微接触法在凸型结构的顶部粘上紫外固化胶,静置成型;
S7)采用UV光源照射固化,得到阴极隔离柱。
进一步地,所述模具为不透明金属材料构成,在步骤S7)中,在ITO衬底一侧进行UV照射。
进一步地,所述模具的材料为透明的石英、聚二甲基硅氧烷或聚甲基丙烯酸甲酯中的一种。
进一步地,在步骤S5)中采用反应离子蚀刻以紫外固化胶为掩膜,去除残留紫外固化胶后在ITO衬底上得到所需的凸型结构。
进一步地,在步骤S5)中反应离子刻蚀去除残留的紫外固化胶后,反应离子与ITO衬底作用,增加ITO衬底的载流子含量。
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