[发明专利]一种多层孔状微结构的反射式窄带滤光片

权利要求书

1.一种多层孔状微结构的反射式窄带滤光片，其特征是，该滤光片为在光学玻璃表面直接刻划多组孔状微结构形成，其包括：

光学材料基底(1)；

第一组高折射率孔状微结构(2)，其具有K，K≥1层孔状微结构，该结构直接与光学材料基底(1)相连，其表面均匀排布微孔结构，微孔为瓦罐状，截面成超半球状，依次将相邻微孔中心点连线构成六边形；

第二组低折射率孔状微结构(3)，其具有N，N≥1层孔状微结构，其位于第一组高折射率孔状微结构(2)上，其表面均匀排布微孔结构，微孔为瓦罐状，截面成超半球状，依次将相邻微孔中心点连线构成六边形；

第三组高折射率孔状微结构(4)，其具有M，M≥1层孔状微结构，其位于第二组低折射率孔状微结构(3)上，其表面均匀排布微孔结构，微孔为瓦罐状，截面成超半球状，依次将相邻微孔中心点连线构成六边形；

上述三组微孔结构的孔心上下对齐，且第一组高折射率孔状微结构(2)的折射率和第三组高折射率孔状微结构(4)的折射率均大于第二组低折射率孔状微结构(3)的折射率；

同一层孔状微结构遵循同一参数和排布，不同层之间，孔状微结构的参数不同，微孔开口直径变化范围是0.2-0.5微米，深度变化范围是0.2-0.5微米，孔心与孔心之间的间距变化范围是0.4-0.9微米，微孔的密度变化范围是1.5-4.2个每平方微米。

2.根据权利要求1所述的一种多层孔状微结构的反射式窄带滤光片，其特征在于，所述多层孔状微结构通过控制每组微孔的形貌、周期、占空比，层数、每层的层厚、层与层之间的排列方式，控制折射率变化函数，进而控制反射的波长。