[发明专利]基于CMOS的光电加速度传感器在审
| 申请号： | 201810293685.1 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108196091A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陆颢瓒;戴瑞萍;宁楠楠;王德波 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 210023 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 遮光板 加速度传感器 光电阵列 条纹位置 条纹 光照 二进制数 光敏元件 光线透过 平面加工 平行光源 灵敏度 轴运动 短波 多位 刻蚀 | ||
【权利要求书】：
1.基于CMOS的光电加速度传感器，其特征在于：
所述加速度传感器的结构从上往下依次由短波平行光源、Y向遮光板、X向遮光板和CMOS光电阵列组成；
所述Y向遮光板上刻蚀出若干条等宽且平行于X轴的长条用于透光，并通过支撑梁在X轴方向上被固定；
所述X向遮光板上刻蚀出若干条等长且平行于Y轴的长条用于透光，并通过支撑梁在Y轴方向上被固定；
所述CMOS光电阵列主要由单色CMOS光点传感器组成。
2.根据权利要求1所述的基于CMOS的光电加速度传感器，其特征在于：所述单色CMOS光点传感器可将透过两个遮光板的光信号转化为电信号，CMOS单元后级经AD采样利用多位二进制数表示光信号的强弱程度。
3.根据权利要求1所述的基于CMOS的光电加速度传感器，其特征在于：当传感器沿Y轴方向上加速或减速时，通过观察Y向遮光板透射出的条纹的位置变化即可得到Y方向上的运动情况。
4.根据权利要求1所述的基于CMOS的光电加速度传感器，其特征在于：当传感器沿X轴方向上加速或减速时，通过观察X向遮光板透射出的条纹的位置变化即可得到X方向上的运动情况。
5.根据权利要求1所述的基于CMOS的光电加速度传感器，其特征在于：当传感器沿Z轴方向上运动时，X向遮光板和Y向遮光板的透射条纹围成的方形内的光敏元件个数会变化，通过计算光敏元件数目的变化，即可得到Z轴方向上的运动情况。
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