[发明专利]表面测量设备

说明书

一种用于对工件的表面进行测量的表面测量设备具有探头，探头具有探测臂，探测臂支撑用于对待测量工件的表面进行探测的探测体。表面测量设备还具有用于使探测体相对于待测量工件运动的进给装置，探测臂通过机械接口可拆卸地与进给装置的可动部件连接或者能够与进给装置的可动部件连接，接口具有第一部件和第二部件，第一和第二部件在探测臂在进给装置的可动部件上的安装位置上静定地相互连接，第一和第二部件中的一个部件被分配给探测臂而另一部件被分配给进给装置。根据本发明，在第一部件上设有至少一个对准凸起作为安装对准辅助装置，对准凸起在探测臂的安装位置上无接触地或者几乎无接触地接合到第二部件上形成的对准凹部中。

技术领域

本发明涉及一种表面测量设备。

背景技术

例如以粗糙度测量设备的形式的这种表面测量设备为大众所知。它们具有探头，该探头具有探测臂，该探测臂支撑用于对待测量工件的表面进行探测的探测体。已知的表面测量设备还具有用于使探测体相对于待测量工件运动的进给装置。为了能够使表面测量设备与不同测量任务相适应，探测臂是可更换的。为此，探测臂通过机械接口可拆卸地与进给装置的可动部件连接或者能够与进给装置的可动部件连接，其中，该接口具有第一部件和第二部件，这两个部件在探测臂在进给装置的可动部件上的安装位置上静定地相互连接，其中，一个部件被分配给探测臂而另一部件被分配给进给装置。

通过选择和使用相应的探测臂，表面测量设备因此可以与不同测量任务相适应。

在探测臂的更换中需要将探测臂安装在进给装置的可动部件上的预定的规定位置上。否则探头的实际几何形状以未规定的方式与预定的且基于探头输出信号的几何形状相偏离。然而，只有在探头的几何形状是明确已知的情况下，借助于探头输出信号对待测量工件的表面进行可靠重构才是可能的。

特别是存在这样的危险，即，探测臂的实际位置与预定位置稍微偏离会影响测量准确度，而该误差未被发觉。探测臂往往是通过磁力被固定在进给装置的可动部件上并且因此原则上可以将探测臂安装在进给装置的可动部件上的各种不同位置上，这进一步提高了探测臂的不正确安装的危险。

为了使将探测臂安装在预设的正确位置上变得容易，已知的是，使用形式为光学标记的对准装置。但是在这里的缺点是，接口往往是不可见的。此外，特别是对于小部件而言轻微的错位经常是无法识别的。

发明内容

本发明的目的在于，提出一种表面测量设备，在该表面测量设备中，使将探测臂安装在进给装置的可动部件的设定位置上变得容易。

该目的通过以下方案得以解决：用于对工件的表面进行测量的表面测量设备，所述表面测量设备具有：探头，所述探头具有探测臂，所述探测臂支撑用于对待测量工件的表面进行探测的探测体；用于使所述探测体相对于所述待测量工件运动的进给装置，其中，所述探测臂通过机械接口可拆卸地与所述进给装置的可动部件连接或者能够与所述进给装置的可动部件连接，其中，所述接口具有第一部件和第二部件，当探测臂在所述进给装置的所述可动部件上的安装位置上时，所述第一和第二部件静定地相互连接，其中，所述第一和第二部件中的一个部件被分配给所述探测臂，而另一部件被分配给所述进给装置，在所述第一部件上设有至少一个对准凸起作为安装对准辅助装置，所述对准凸起在所述探测臂的安装位置上无接触地或者几乎无接触地接合到在所述第二部件上形成的对准凹部中。

本发明规定，在第一部件上设有至少一个对准凸起作为安装对准辅助装置，该对准凸起在探测臂的安装位置上无接触地或者几乎无接触地接合到在第二部件上形成的对准凹部中。

根据本发明设置的对准凸起与对准凹部组合的方案通过探测臂在安装中被引导到该位置上，使得将探测臂安装到预设位置变得容易。以这种方式，在探测臂更换中发生探测臂不正确安装的危险变小，从而可靠地避免由此引起的测量误差。

本发明相对于光学标记作为对准辅助装置的方案的优点在于，根据本发明的安装对准辅助装置即使在接口不可见的情况下也是起作用的。