[发明专利]表面测量设备

权利要求书

1.用于对工件的表面进行测量的表面测量设备(2)，所述表面测量设备具有：

探头，所述探头具有探测臂(4)，所述探测臂支撑用于对待测量工件的表面进行探测的探测体(22)；

用于使所述探测体(22)相对于所述待测量工件运动的进给装置(6)，

其中，所述探测臂(4)通过机械接口(14)可拆卸地与所述进给装置(6)的可动部件(16)连接或者能够与所述进给装置(6)的可动部件(16)连接，

其中，所述接口(14)具有第一部件(18)和第二部件(20)，当探测臂(4)在所述进给装置(6)的所述可动部件(16)上的安装位置上时，所述第一和第二部件静定地相互连接，

其中，所述第一和第二部件中的一个部件(20、18)被分配给所述探测臂(4)，而另一部件(18、20)被分配给所述进给装置(6)，

其特征在于，

在所述第一部件(18)上设有至少一个对准凸起(42、44)作为安装对准辅助装置，所述对准凸起在所述探测臂(4)的安装位置上无接触地或者几乎无接触地接合到在所述第二部件上形成的对准凹部(46、48)中。

2.如权利要求1所述的表面测量设备，其特征在于，所述安装对准辅助装置被设计成，使得在所述探测臂(4)的安装中实现所述探测臂(4)关于它的纵向中平面的对准。

3.如权利要求1或2所述的表面测量设备，其特征在于，所述第一部件(18)和所述第二部件(20)在所述探测臂(4)的安装位置上通过三点支承结构相互连接。

4.如权利要求3所述的表面测量设备，其特征在于，所述三点支承结构是在所述第一部件(18)和所述第二部件(20)在所述探测臂(4)的安装位置上彼此相向的表面(32、34)上形成的并且在所述第一和第二部件中的一个部件(18)上具有三个支承凸起，这三个支承凸起在所述探测臂(4)的安装位置上有接触地接合到在另一部件(20)上形成的形状基本互补的支承凹部(36、38、40)中。

5.如权利要求4所述的表面测量设备，其特征在于，至少一个支承凸起(26、28、30)被设计成支承球体。

6.如前述权利要求中任一项所述的表面测量设备，其特征在于，至少一个对准凸起(42、44)设置在所述第一部件(18)或者所述第二部件(20)的纵向中平面内。

7.如权利要求6所述的表面测量设备，其特征在于，设有至少两个沿着所述探测臂(4)的纵向相互隔开的对准凸起(42、44)。

8.如前述权利要求中任一项所述的表面测量设备，其特征在于，至少一个对准凸起(42、44)与所述支承凸起(26、28、30)相比以更大程度突出于所述第一部件(18)或者所述第二部件的相应表面(32)，使得在所述探测臂(4)的安装中在所述第一部件(18)靠近所述第二部件(20)时，在所述支承凸起(26、28、30)与相应的支承凹部(36、38、40)进入接合状态之前，所述对准凸起或者所述多个对准凸起(42、44)与相应的对准凹部(46、48)先进入接合状态。

9.如前述权利要求中任一项所述的表面测量设备，其特征在于，至少一个对准凸起(42、44)被设计成对准球体，以及至少一个支承凸起(26、28、30)被设计成支承球体，并且所述对准球体或者每个对准球体的直径大于所述支承球体或者每个支承球体的直径。

10.如前述权利要求中任一项所述的表面测量设备，其特征在于，所述第一部件(18)与所述进给装置(6)的可动部件(16)连接，并且所述第二部件(20)与所述探测臂(4)连接。

11.如前述权利要求中任一项所述的表面测量设备，其特征在于，所述探测臂(4)在安装位置上通过磁力固定在所述进给装置(6)的可动部件(16)上。