[发明专利]光器件

说明书

本发明提供一种实现高性能的光调制的光器件。光器件具备：电光元件；连接器，被输入电信号或输出电信号；中继基板，将连接器与光学元件电连接；一对支承部，支承中继基板；及壳体，将连接器固定，并收容光学元件、中继基板及一对支承部，光学元件具有在内部形成有光波导的基板和在基板的表面形成的调制电极，中继基板具有电介质基板、在电介质基板的一个主面设置的信号电极、在所述一个主面设置的接地电极，信号电极及接地电极与调制电极及连接器电连接，一对支承部在俯视图中夹持中继基板，在中继基板的另一个主面与壳体的内部底面之间形成有空隙。

技术领域

本发明涉及光器件。

背景技术

以往，作为光器件，已知有光调制器，该光调制器具有：电光元件，具有光波导和调制电极；壳体，收容电光元件；中继基板，将从外部输入的调制信号向调制电极传输(例如，参照专利文献1)。

上述光调制器的电光元件具有如下结构：使用LiNbO₃结晶或电光高分子材料等的表现出电光效应的材料作为基板，在该基板形成光波导，在光波导上形成有调制电极。

上述光调制器的壳体具有用于从外部输入调制信号的连接器部。连接器部具有同轴引脚。

上述光调制器的中继基板具有电介质基板和形成在电介质基板上的电极。中继基板在壳体内部配置于连接器部的同轴引脚与电光元件之间，将输入到连接器部的调制信号向调制电极传输。

通常在这样的光调制器中，要求将从外部输入到连接器部的调制信号(电信号)没有损失地向电光元件传播。而且，伴随着近年来的光通信的高速化，而要求应对更高的频率的电信号的光调制器(光器件)。

在此，在调制电极的输入输出部及中继基板的电极结构中，考虑到连接容易度，多使用共平面线路(Coplanar Waveguide：CPW)。

而且，在中继基板中，多使用的是在形成有共平面线路的面的相反面上也配置导体并将一个主面侧的接地电极与另一个主面侧的导体连接的CBCPW(Conductor BackedCoplanar Waveguide)结构的基板。

在CBCPW结构的中继基板中，作为传输特性劣化的要因之一，可列举向电介质基板的放射损失。向电介质基板的放射损失根据中继基板具有的电极的形状、大小及中继基板具有的电介质基板的介质特性而变化。

作为抑制CBCPW结构的中继基板的放射损失的方法之一，提出了在CBCPW结构的中继基板具有的电介质基板中，对形成有电极的面的相反侧的面实施槽加工的方法(例如，参照非专利文献1)。形成的槽在考虑中继基板的电特性的基础上，可以考虑作为“由低介电常数材料构成的层”。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利第4027109号公报

【非专利文献】

【非专利文献1】Leakage Loss Analysis of Conductor Baked CoplanarWaveguide with Air-Gap-Spacing Dielectric Sheets,Hotta,et al.,IEICETRANS.ELECTRON.,vol.E85-C,NO.7,JULY 2002

发明内容

【发明的概要】

【发明要解决的课题】

然而，在非专利文献1记载的结构中，由于对电介质基板加工微细的槽，因此会导致制造成本增加。而且，非专利文献1记载的结构能够适用的电介质基板的材料局限于即便实施槽加工也能够维持机械强度的材料。因此，电介质基板的材料选择的范围变窄。