[发明专利]一种大口径均匀光源的均匀性测试装置及方法在审

专利信息
申请号: 201810245491.4 申请日: 2018-03-23
公开(公告)号: CN108534994A 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 昌明;赵建科;李晶;薛勋;曹昆;胡丹丹 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 倪金荣
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 均匀性测试装置 均匀光源 转换装置 光亮度探测器 升降装置 旋转电机 载物台 摆臂 滑块 测量控制系统 探测器位置 测试装置 平台位置 大口径 支架 光学测试技术 有效扫描区域 滑块驱动 面均匀性 出射面 电连接 输出端 增大的 电机 通用
【权利要求书】:

1.一种大口径均匀光源的均匀性测试装置,其特征在于:包括支架(1)、升降装置(2)、平台位置转换装置(3)、载物台(4)、摆臂(5)、滑块(6)、探测器位置转换装置(7)、光亮度探测器(8)以及测量控制系统(9);

所述升降装置(2)设置在支架(1)上,载物台(4)通过平台位置转换装置(3)设置在升降装置(2)上;载物台(4)设置旋转电机,摆臂(5)安装在旋转电机的输出端;滑块(6)安装在摆臂(5)上,并通过滑块驱动电机驱动其沿摆臂(5)移动;所述平台位置转换装置(3)可相对支架(1)旋转,从而使摆臂(5)的旋转平面与水平面垂直或平行;

所述光亮度探测器(8)通过探测器位置转换装置(7)安装在滑块(6)上,探测器位置转换装置(7)用于控制光亮度探测器(8)的探测方向,使探测器的探测方向垂直或平行于摆臂(5)的旋转平面;

所述光亮度探测器(8)、旋转电机和滑块驱动电机分别与测量控制系统(9)电连接,测量控制系统(9)用于实现光亮度探测器(8)探测数据的处理,以及控制旋转电机和滑块驱动电机的运动。

2.根据权利要求1所述的大口径均匀光源的均匀性测试装置,其特征在于:所述测量控制系统(9)包括数据采集卡、主控计算机和电机控制装置;

数据采集卡采集光亮度探测器(8)输出的光电信号,并对其进行模数转换后传输至主控计算机;

主控计算机控制规划测试路径,完成自动测试和数据处理;

电机控制装置将计算机的运动控制指令转换为可驱动旋转电机、滑块驱动电机运动的电信号。

3.根据权利要求2所述的大口径均匀光源的均匀性测试装置,其特征在于:所述光亮度探测器(8)的镜头前设置衰减片。

4.根据权利要求3所述的大口径均匀光源的均匀性测试装置,其特征在于:所述光亮度探测器(8)适配1°或3°或10°视场角的光学镜头。

5.根据权利要求4所述的大口径均匀光源的均匀性测试装置,其特征在于:所述摆臂(5)远离光亮度探测器(8)的一端设置配重块。

6.根据权利要求2至5任一所述的大口径均匀光源的均匀性测试装置,其特征在于:所述旋转电机为步进电机或配有旋转编码器的直流伺服电机,其与电机控制装置电连接。

7.根据权利要求6所述的大口径均匀光源的均匀性测试装置,其特征在于:所述滑块驱动电机为步进电机或配有光栅编码器的直流伺服电机,其与电机控制装置电连接。

8.一种基于权利要求2至7任一所述大口径均匀光源均匀性测试装置的面均匀性测试方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤1:调整待测均匀光源或均匀性测试装置的位置,使待测均匀光源出射面与摆臂(5)的旋转平面平行;通过升降装置(2)调整载物台(4)的高度,使摆臂(5)的旋转中心与待测均匀光源出射面的中心等高,

步骤2:根据待测均匀光源面均匀性的测试要求,设置摆臂(5)和滑块(6)的测试步长;

步骤3:主控计算机规划测试路径,控制滑块(6)移动到指定位置后启动测试过程;

步骤4:主控计算机记录摆臂(5)及滑块(6)的当前位置;数据采集卡采集光亮度探测器(8)输出的光电信号,对其进行模数转换,并将模数转换后得到的数据传输至主控计算机;

步骤5:滑块(6)位置保持不变,旋转电机带动摆臂(5)按其测试步长旋转,主控计算机同时记录摆臂(5)和滑块(6)位置;摆臂(5)旋转一圈后,滑块(6)按其测试步长移动至下一位置;

步骤6:重复步骤4、步骤5,进行逐点测试,直至完成待测均匀光源出射面的同心圆环形扫描;

步骤7:主控计算机根据面均匀性数据处理方法对数据进行处理。

9.一种基于权利要求2至7任一所述大口径均匀光源均匀性测试装置的角均匀性测试方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤1:调整待测均匀光源或均匀性测试装置的位置,使待测均匀光源出射面与摆臂(5)的旋转平面垂直;

步骤2:当进行垂直方向角均匀性测试时,调整平台位置转换装置(3)旋转,使摆臂(5)的旋转平面与水平面垂直;

当进行水平方向角均匀性测试时,调整平台位置转换装置(3)旋转,使摆臂(5)的旋转平面与水平面平行;

步骤3:通过升降装置(2)调整载物台(4)的高度,使摆臂(5)的旋转中心与待测均匀光源出射面的中心等高,

定义光亮度探测器(8)的探测方向与均匀光源出射面(11)的中心光轴方向重合时为零度,摆臂(5)向下、向左旋转时为负向角度,向上、向右为正向角度;上、下、左、右是处于均匀光源的位置,向均匀性测试装置看去时的方位;负向角度最大的位置作为测试起始位置,正向角度最大的位置作为测试起始位置;

步骤4:根据待测均匀光源的出射口径,设置滑块(6)在摆臂(5)上的位置,使其与出射口径一致;根据角均匀性的测试要求,设置载物台(4)旋转电机的角度范围和测试步长;

步骤5:主控计算机规划测试路径,控制滑块(6)移动到指定位置,控制摆臂(5)移动到测试角度范围的测试起始位置后启动测试过程;

步骤6:数据采集卡采集光亮度探测器(8)输出的光电信号,对其进行模数转换,并将模数转换后得到的数据传输至主控计算机,主控计算机记录摆臂(5)的当前位置;

步骤7:滑块(6)位置保持不变,摆臂(5)按其测试步长向正向角度方向旋转至下一位置,

步骤8:重复步骤6、步骤7,进行逐角度测试,直至摆臂(5)运行至测试角度范围的测试终止位置,完成待测均匀光源出射面的等角度间隔的圆弧形扫描;

步骤9:主控计算机根据角均匀性数据处理方法对数据进行处理。

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