[发明专利]微粒制造装置以及微粒制造方法

权利要求书

1.一种微粒制造装置，具有：

真空室；

材料供给装置，与所述真空室连接并进行材料粒子的供给；

多根电极，与所述真空室连接，前端向所述真空室内突出，产生基于电弧放电的等离子体；

交流电源，分别与所述电极连接；和

回收装置，与所述真空室连接并回收微粒，

在所述真空室内产生所述电弧放电，从所述材料粒子制造所述微粒，

在所述真空室内，供给包含所述材料粒子的材料气体的所述材料供给装置的多个材料供给口被设置于比所述多根电极更靠铅垂方向的下侧的位置，

在所述材料供给装置的所述多个材料供给口的内周，配置供给第1气体的第1气体供给口，并且在所述多个材料供给口的外周，配置供给第2气体的多个第2气体供给口，

所述材料供给装置的所述多个材料供给口被配置于比连结所述多根电极前端的圆周更靠内侧的位置，

以比所述材料气体的流速快的流速将所述第1气体向所述真空室内供给，并且以比所述材料气体的流速慢的流速将所述第2气体向所述真空室内供给。

2.根据权利要求1所述的微粒制造装置，其中，

在从铅垂上侧观察的情况下，所述第2气体供给口被配置于所述多根电极与电极之间。

3.根据权利要求2所述的微粒制造装置，其中，

所述第2气体供给口被配置于比连结所述多根电极前端的圆周更靠外侧的位置。

4.根据权利要求1所述的微粒制造装置，其中，

所述微粒制造装置还具备：流量调节装置，与所述材料供给装置连接，能够分别调节从所述材料供给装置供给的所述材料气体以及从所述第1气体供给口以及所述第2气体供给口供给的所述第1气体以及所述第2气体的流量。

5.一种微粒制造方法，利用权利要求4所述的微粒制造装置，

产生所述电弧放电，

将所述材料气体向所述电弧放电供给，

生成所述微粒，

在将所述材料气体从所述材料供给装置的所述多个材料供给口向所述真空室内的所述电弧放电供给时，以比所述材料气体的流速快的流速将所述第1气体向所述真空室内供给，并且以比所述材料气体的流速慢的流速将所述第2气体向所述真空室内供给。

6.一种微粒制造方法，利用权利要求4所述的微粒制造装置，

产生所述电弧放电，

将所述材料气体向所述电弧放电供给，

生成所述微粒，

在将所述材料气体从所述材料供给装置的所述多个材料供给口向所述真空室内的所述电弧放电供给时，以比所述材料气体的流速快的流速将所述第1气体向所述真空室内供给，并且以比所述材料气体的流速慢的流速将所述第2气体向所述真空室内供给，

并且通过所述流量调节装置使来自所述各材料供给口的所述材料粒子的供给的定时与所述第1气体或第2气体的供给的定时同步。