[发明专利]自动光学检测设备

说明书

本发明涉及一种自动光学检测设备，用于对待测物的缺陷进行检测，包括：光源照明装置，包括亮视场光源、暗视场光源和背光源中的至少两种光源；所述光源照明装置中的至少两种光源相互切换照射于所述待测物上；图像获取装置，用于对所述待测物进行扫描并分别获取所述待测物在各光源下的灰阶图像信息；以及图像处理装置，与所述图像获取装置连接，用于根据各灰阶图像信息判断所述待测物是否存在缺陷并输出缺陷检测结果。上述自动光学检测设备能够有效检出待测物上的缺陷，检出率较高。

技术领域

本发明涉及自动光学检测技术领域，特别是涉及一种自动光学检测设备。

背景技术

在对TFT阵列基板等的微观缺陷进行检测时，都会用到AOI(Automatic OpticInspection，自动光学检测设备)。自动光学检测设备的工作原理是：采用光学原理对基板进行扫描检测，根据CCD相机内的光学元器件接收光产生灰阶图像，再将灰阶图像通过逻辑运算进行对比，从而完成对基板的检测。传统的自动光学检测设备仅能够检出部分缺陷，检出率较低。

发明内容

基于此，有必要提供一种检出率较高的自动光学检测设备。

一种自动光学检测设备，用于对待测物的缺陷进行检测，包括：

光源照明装置，包括亮视场光源、暗视场光源和背光源中的至少两种光源；所述光源照明装置中的至少两种光源相互切换照射于所述待测物上；

图像获取装置，用于对所述待测物进行扫描并分别获取所述待测物在各光源下的灰阶图像信息；以及

图像处理装置，与所述图像获取装置连接，用于根据各灰阶图像信息判断所述待测物是否存在缺陷并输出缺陷检测结果。

上述自动光学检测设备中的光源照明装置包括亮视场光源、暗视场光源和背光源中的至少两种光源，从而使得图像获取装置可以获取到待测物在各光源下的灰阶图像信息，进而使得图像处理装置可以根据各光源下的灰阶图像信息对待测物是否存在缺陷进行判断，并输出缺陷检测结果。由于不同光源条件下得到的灰阶图像信息不同，因此图像处理装置可以根据各灰阶图像信息有效检出待测物上的缺陷，检出率较高。

在其中一个实施例中，还包括存储装置；所述存储装置用于存储待测物在各光源下的灰阶图像信息的参考阈值；所述图像处理装置用于将各灰阶图像信息与对应的参考阈值进行比较判断以确定是否存在缺陷。

在其中一个实施例中，所述图像处理装置还用于在检测出缺陷时提取检测出对应缺陷的灰阶图像信息中的缺陷特征，并根据所述缺陷特征确定对应缺陷的类型。

在其中一个实施例中，还包括存储装置，所述存储装置用于存储待测物中的各缺陷类型对应的各光源下的灰阶图像信息中的缺陷特征以作为参考特征；所述图像处理装置用于将提取出的缺陷特征与所述参考特征进行比较确定对应缺陷的类型。

在其中一个实施例中，所述光源照明装置包括亮视场光源、暗视场光源和背光源；所述亮视场光源用于垂直照射于所述待测物上；所述暗视场光源用于倾斜照射于所述待测物上。

在其中一个实施例中，所述亮视场光源、所述暗视场光源和所述背光源周期性切换照射于所述待测物上。

在其中一个实施例中，所述图像获取装置包括CCD相机和镜头；所述镜头用于对获取的图像精度进行调节；所述CCD相机用于根据各光源在所述待测物上反射或者透射来的光信号得到对应的灰阶图像信息。

在其中一个实施例中，所述图像获取装置还用于在所述图像处理装置确定所述待测物存在缺陷时，获取相应缺陷所在扫描区域的彩色图像并输出。

在其中一个实施例中，所述暗视场光源的照射角度为可调；所述图像获取装置还用于获取所述暗视场光源在不同照射角度下的灰阶图像信息以输出至所述图像处理装置进行缺陷判断。