[发明专利]多探头扫描测试架

权利要求书

1.一种多探头扫描测试架，其特征在于，包括：

机架(1)；

承载于所述机架(1)的多探头测试组件(2)，所述多探头测试组件(2)包括：承载于所述机架(1)的第一剪叉式支架(21)；以及，装配于所述第一剪叉式支架(21)的位于同一轴线的各节点处的测试探头(22)；以及，

用于驱动各所述第一剪叉式支架(21)伸缩的第一驱动机构(3)。

2.根据权利要求1所述的多探头扫描测试架，其特征在于，所述第一剪叉式支架(21)的两端均为相互铰接的短杆并形成第一承载端(211)和第二承载端(212)，所述第一承载端(211)承载于所述机架(1)；

所述第一驱动机构(3)包括：

滑动式装配于所述机架(1)的推移杆(31)，各所述第一剪叉式支架(21)的第二承载端(212)承载于所述推移杆(31)；以及，

与所述推移杆(31)相装配、用于驱动所述推移杆(31)沿所述第一剪叉式支架(21)伸缩方向移动的第一驱动组件(32)。

3.根据权利要求2所述的多探头扫描测试架，其特征在于，所述第一驱动组件(32)从如下结构中选择单独或者组合适用：驱动气缸、丝杆驱动结构或者齿轮齿条驱动结构。

4.根据权利要求1或2或3所述的多探头扫描测试架，其特征在于，各所述测试探头(22)设置于所述第一剪叉式支架(21)的中心节点处。

5.根据权利要求4所述的多探头扫描测试架，其特征在于，所述多探头测试组件(2)至少设置两组，相邻所述多探头测试组件(2)中的测试探头(22)为极化方向相反的单极化探头。

6.根据权利要求2所述的多探头扫描测试架，其特征在于，所述第一承载端(211)滑动式装配于所述机架(1)，所述第二承载端(212)滑动式装配于所述推移杆(31)，所述机架(1)上还设有用于推动各所述第一剪叉式支架(21)相互靠近或远离的第二驱动机构(4)。

7.根据权利要求6所述的多探头扫描测试架，其特征在于，所述第二驱动机构(4)包括：

第二剪叉式支架(41)，所述第二剪叉式支架(41)的两端均为相互铰接的短杆并形成第三承载端(411)和第四承载端(412)，所述第三承载端(411)承载于所述机架(1)，各所述第一承载端(211)与所述第二剪叉式支架(41)的位于同一轴线的节点相装配；以及，

与所述第四承载端(412)相装配、用于驱动所述第一剪叉式支架(21)沿所述第二剪叉式支架(41)伸缩方向移动的第二驱动组件(42)。

8.根据权利要求7所述的多探头扫描测试架，其特征在于，所述第二驱动组件(42)从如下结构中选择单独或者组合适用：驱动气缸、丝杆驱动结构或者齿轮齿条驱动结构。

9.根据权利要求7或8所述的多探头扫描测试架，其特征在于，各所述第一承载端(211)与所述第二剪叉式支架(41)的中心节点相装配。

10.根据权利要求3所述的多探头扫描测试架，其特征在于，当所述第一驱动组件(32)为驱动气缸时，所述驱动气缸的底座固定于所述机架(1)，所述驱动气缸的活塞杆固定于所述推移杆(31)。