[发明专利]掩模板在审
申请号: | 201810165923.0 | 申请日: | 2018-02-28 |
公开(公告)号: | CN108690950A | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 金相勳 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;刘铮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩模板 主体部 开口部 虚拟部 第二区域 第一区域 沉积 | ||
本发明公开了一种掩模板。根据本发明的掩模板包括主体部、由多个第一开口部形成第一区域并且布置于主体部的沉积部,以及由多个第二开口部形成第二区域并且布置于主体部的虚拟部,其中虚拟部的边界中的一部分可呈圆形。
技术领域
本发明的实施方式涉及一种装置,更具体地涉及一种掩模板。
背景技术
基于移动性的电子设备正在被广泛地使用。除了诸如移动电话的小型电子设备以外,近来,平板电脑被广泛地用作移动电子设备。
这种移动电子设备包括用于向用户提供诸如图像或视频之类的视觉信息的显示装置,以支持多种功能。近来,随着用于驱动显示装置的其他部件的小型化,显示装置在电子设备中所占的比重呈现逐渐增加的趋势,并且也在开发能够在平坦状态下弯曲成具有预定角度的结构。
发明内容
解决的技术问题
通常,在制造显示装置时,使用掩模板将沉积材料沉积成各种图案的形态,但是由于掩模板的变形,可能发生沉积图案的精细度降低的问题。本发明的实施方式提供了一种最大限度地减少掩模板的变形以能够实现精细图案的沉积的掩模板。
解决方法
本发明的一实施方式公开了一种掩模板,该掩模板包括主体部、由多个第一开口部形成第一区域并且布置在主体部的沉积部、由多个第二开口部形成第二区域并且布置于主体部的虚拟部,其中,虚拟部的边界中的一部分呈圆形。
在本实施方式中,虚拟部的呈圆形的边界可布置成朝向主体部的长度方向上的一端部。
在本实施方式中,主体部的长度方向上的一端部可包括形成为直线的直线部和从直线部朝向主体部的长度方向上的另一端部凹入的凹入部。
在本实施方式中,虚拟部的呈圆形的边界可布置成与凹入部间隔开。
在本实施方式中,直线部的外边缘与虚拟部的边界之间的距离可不同于凹入部的外边缘与虚拟部的边界之间的距离。
在本实施方式中,虚拟部和沉积部可彼此隔开地布置于主体部。
除上文所述之外的其他方面、特征、优点将通过以下附图、权利要求书及本发明的详细描述中变得显而易见。
有益效果
根据本发明实施方式的掩模板能够最大限度地减少掩模板的变形。此外,根据本发明实施方式的掩模板能够将沉积材料沉积成精细的图案。
附图说明
图1是示出根据本发明一实施方式的掩模板的立体图。
图2是示出图1所示的掩模板的平面图。
图3是放大示出图2的A部分的立体图。
图4是示出包括图1所示的掩模板的掩模组件的立体图。
图5是示出图4所示的掩模组件的制造顺序的剖视图。
图6是示出图4所示的掩模组件的制造顺序的剖视图。
图7是示出图4所示的掩模组件的制造顺序的剖视图。
图8是示出包括图4所示的掩模组件的显示装置制造设备的剖视图。
图9是示出利用图8所示的显示装置制造设备制造的显示装置的平面图。
图10沿图9所示的A-A线截取的剖视图。
具体实施方式
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