[发明专利]掩模板在审
| 申请号： | 201810165923.0 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN108690950A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 金相勳 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩模板 主体部 开口部 虚拟部 第二区域 第一区域 沉积 | ||
1.一种掩模板，包括：
主体部；
沉积部，其中由多个第一开口部形成第一区域并且布置于所述主体部；以及
虚拟部，其中由多个第二开口部形成第二区域并且布置于所述主体部，
其中，所述虚拟部的边界中的一部分呈圆形。
2.根据权利要求1所述的掩模板，其中，
所述虚拟部的呈圆形的边界布置成朝向所述主体部的长度方向上的一端部。
3.根据权利要求1所述的掩模板，所述主体部的长度方向上的一端部包括：
直线部，形成为直线；以及
凹入部，从所述直线部朝向所述主体部的长度方向上的另一端部凹入。
4.根据权利要求3所述的掩模板，其中，
所述虚拟部的呈圆形的边界布置成与所述凹入部间隔开。
5.根据权利要求3所述的掩模板，其中，
所述直线部的外边缘与所述虚拟部的边界之间的距离不同于所述凹入部的外边缘与所述虚拟部的边界之间的距离。
6.根据权利要求1所述的掩模板，其中，
所述虚拟部和所述沉积部彼此隔开地布置于所述主体部。
7.一种掩模板，包括：
主体部，所述主体部的两个端部中至少一个的一部分形成为朝向内部凹入；
沉积部，其中由多个第一开口部形成第一区域并且布置于所述主体部；以及
虚拟部，其中由多个第二开口部形成第二区域并且布置于所述主体部，
其中，所述虚拟部的与所述主体部的两个端部中的至少一个端部相对的边界形成为与所述主体部的两个端部中至少一个的外边缘的形状对应。
8.根据权利要求7所述的掩模板，其中，
在所述主体部的整个凹入部分中，从所述主体部的两个端部中的至少一个端部的凹入部分的外边缘至所述虚拟部的边界的距离是一致的。
9.根据权利要求7所述的掩模板，其中，
所述虚拟部和所述沉积部彼此隔开地布置于所述主体部。
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