[发明专利]一种紫外掩膜版及其制造方法

说明书

本发明公开一种紫外掩膜版及其制造方法，所述紫外掩膜版用于在彩色滤光板胶框固化时遮挡显示区，包括提供一透明基板，采用像素掩膜图案光罩进行三次光刻，其中，每次光刻前在透明基板上涂布光阻膜，三次所述光刻后在透明基板上形成用以覆盖显示区的光阻层。包括分别通过红色像素图案光罩、绿色像素图案光罩、蓝色像素图案光罩对光阻膜进行光刻，以此在透明基板上得到具有设计总图案的光阻层。通过此方法实现节约一道紫外光罩，达到降低成本的目的。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种紫外掩膜版及其制造方法。

背景技术

在现有液晶显示器制造过程中，采取液晶滴下工艺进行液晶的注入，注入液晶后需要使用到紫外光固化工艺对封框胶进行紫外光固化。在紫外光对封框胶进行固化时，紫外光会对液晶造成不良影响，为避免该不良影响，在紫外光固化的过程中，需要采用带有涂层的掩膜版对液晶进行保护，即掩膜版的涂层区对应液晶区，掩膜版的透光区对应封框胶区。

目前制造紫外掩膜版大多采用两种方案。第一种方案是根据产品设计出相应的掩膜光罩，交由制造厂制作多张掩膜光罩，在框胶固化时直接作为紫外掩膜版使用。这种方案存在如下缺陷：制造一张紫外掩膜版需要购买多张掩膜光罩，采购成本较高。

第二种方案是根据产品设计制造出相应的紫外光罩，由在素玻璃上沉积一层金属薄膜、涂布光阻、利用制造的紫外光罩进行曝光、蚀刻，在光阻玻璃最终形成特定的金属图形，从而得到需要的紫外掩膜版。这种方案存在如下缺陷：需要根据不同的产品制造不同的紫外光罩，设计成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种紫外掩膜版及其制造方法，能节约一道紫外光罩，成本较低。

为实现前述发明目的，本发明提供一种关于紫外掩膜的制造方法，所述紫外掩膜版用于在彩色滤光板胶固化时遮挡显示区，所述制造方法包括：

在透明基板上涂布光阻剂，用像素掩膜图案光罩对光阻剂进行光刻，生成第一光阻膜；

再次在透明基板上涂布光阻剂，用像素掩膜图案光罩对光阻剂进行光刻，生成第二光阻膜；

再次在透明基板上涂布光阻剂，用像素掩膜图案光罩对光阻剂进行光刻，生成第三光阻膜；

从而在透明基板上生成第一光阻膜、第二光阻膜、第三光阻膜，形成用以覆盖显示区的紫外掩膜版；

其中，所述第一光阻膜、第二光阻膜、第三光阻膜分别对应显示区红色滤光位置、绿色滤光位置、蓝色滤光位置中的一种。

在其中一实施例中，所述第一光阻膜、第二光阻膜、第三光阻膜分别由第一像素掩膜图案光罩、第二像素掩膜图案光罩、第三像素掩膜图案光罩光刻生成，第一像素掩膜图案光罩、第二像素掩膜图案光罩、第三像素掩膜图案光罩为红色像素掩膜图案光罩、绿色像素掩膜图案光罩、蓝色像素掩膜图案光罩中的一种；

或者，所述第一光阻膜、第二光阻膜、第三光阻膜由一种像素掩膜图案光罩通过在各次光刻时变换不同的位置来生成，所述像素掩膜图案光罩为红色像素掩膜图案光罩、绿色像素掩膜图案光罩、蓝色像素掩膜图案光罩中的一种。

在其中一实施例中，所述光刻包括：对所述光阻剂进行曝光显影；选择性蚀刻部分光阻剂，使光阻剂图形化；固化图形化的光阻剂。

在其中一实施例中，所述像素掩膜图案光罩设有对位标识，从而在透明基板上生成第一光阻膜、第二光阻膜、第三光阻膜时，同时生成用于在彩色滤光板胶框固化时与彩色滤光板基板对位的对位标记。

在其中一实施例中，生成第一光阻膜、第二光阻膜、第三光阻膜后，还包括在生成第一光阻膜、第二光阻膜、第三光阻膜上镀设保护膜。