[发明专利]工具支撑件和工件支撑组件

说明书

用于支撑工件的工具支撑件包括：主体，该主体在其一端包括头部；以及在所述主体内的导管，在使用时在所述导管的第一端处与真空源流体连接，导管的第二端在头部处开口，由此将真空或减压施加到头部；所述头部包括向外突出的可弹性变形的边界突出部，所述边界突出部的远侧表面用于在使用时与其上的工件接触，所述边界突出部可弹性变形，以便能够在使用时容纳从工件突出的工件的至少一个特征；并且所述边界突出部至少部分地围绕所述导管开口，以便当工件支撑在所述头部上并且所述真空源在使用时连接时，在所述边界突出部内部的区域中基本上保持真空或减压，以便将工件固定在头部上。

技术领域

本发明涉及一种用于支撑在被支撑表面上具有多个突出特征的工件（尤其是电子工件，诸如在被支撑表面上具有多个管脚的管脚栅格阵列（PGA））的工具支撑件，以及包括多个这种工具支撑件的工件支撑组件。

背景技术

工件，特别是电子工件，如半导体晶片或衬底，必须在整个组装过程中牢固地支撑以形成例如印刷电路板。广泛使用真空夹紧来提供这种可靠的支撑，防止工件相对于支撑工具运动。单个的工件可以分别支撑在各自的塔上，有时被称为“顶部参考单一衬底工具”塔，或者简称为“TRS塔”。在平面工件及其支撑塔之间保持有效的真空是比较简单的，但是如果工件是异型的，会出现问题。这种异型工件的例子是管脚栅格阵列（PGA），其包括从要被支撑的表面突出的多个管脚。目前的趋势是这种阵列具有越来越精细的间距特征，使真空完整性更成问题。其他工件可以包括位于下侧的其他特征。这种工件在工件和工具之间形成间隙，使得夹紧真空的完整性可能丧失。如果发生这种情况，那么不仅工件有移动的危险，而且检测缺失的部件变得困难，注意这种检测通常通过使用软件来实现，该软件检查衬底存在的情况与衬底缺失的情况之间的真空度的差异。

本发明的一个目的是克服这些问题，并且提供即使当异型工件被支撑在工具上时也能够保持所需的真空度的工具。最小化被支撑工件上的插入力是相关的目的。

发明内容

上述目的是通过使用具有柔顺支撑表面的工具来实现的。

在一个方面，本发明提供了一种用于支撑工件的工具支撑件，该工具支撑件包括：主体，该主体在其一端包括头部，以及在主体内的导管，在使用中在导管的第一端处与真空源流体连接，所述导管的第二端在所述头部处开口，由此向所述头部施加真空或减压；

其中所述头部包括向外突出的可弹性变形的边界突出部，所述边界突出部的远侧表面用于在使用时接触其上的工件，所述边界突出部可弹性变形，以便能够在使用中容纳从所述工件突出的工件的至少一个特征；其中边界突出部至少部分地围绕导管开口，以便当工件被支撑在头部上并且真空源在使用中连接时，在边界突出部内的区域中基本上保持真空或减压，以将工件固定在头部上；其中所述头部包括用于支撑工件的支撑表面；并且其中所述边界突出部包括多根细丝或纤维，所述细丝或纤维围绕所述头部的所述支撑表面向外设置并且突出超过所述头部的支撑表面。

另一方面，本发明提供了一种工件支撑组件，包括：多个上述工具支撑件，用于分别支撑多个工件中的相应工件；以及支撑平台，所述工具支撑件设置在支撑平台上。

本发明的各种优选特征在所附的从属权利要求中阐述。

附图说明

现在本发明的优选实施例将在下文中仅通过参考附图举例来描述，其中：

图1示意性地示出了根据本发明的一个实施例的工件支撑组件的透视图。

图2示意性地示出了图1的工件支撑组件的一个工具支撑件的透视图。

图3示意性地示出了在拆下支撑套圈的状态下图2的工具支撑件的透视图。

图4示意性地示出了图2的工具支撑件的一个侧视图。

图5示意性地示出了图2的工具支撑件的另一个侧视图。