[发明专利]衍射光栅的制造方法

说明书

本发明提供一种衍射光栅的制造方法。该衍射光栅的制造方法具备如下工序：利用投影到多个单位衍射光栅的周期性的图案和多个单位衍射光栅生成莫尔条纹；以及基于所生成的莫尔条纹的形状，使多个单位衍射光栅中的至少1个单位衍射光栅相对于其他至少1个单位衍射光栅相对地旋转，从而调整成光栅所延伸的方向一致的状态。

技术领域

本发明涉及衍射光栅的制造方法。

背景技术

以往，公知有X射线拍摄装置所具备的衍射光栅。这样的衍射光栅被例如国际公开第2009/104560号公开。

在国际公开第2009/104560号中公开有一种X射线拍摄装置，该X射线拍摄装置具备：X射线源，其产生X射线；第1光栅，其使从X射线源产生的X射线发生衍射；第2光栅，其使利用第1光栅发生了衍射的X射线再次发生衍射而产生莫尔条纹图案；以及X射线图像检测器，其对利用第2光栅产生的莫尔条纹图案进行检测。国际公开第2009/104560号的X射线拍摄装置构成为，根据在将被摄体配置在X射线源与第1光栅之间或者第1光栅与第2光栅之间的状态下对被摄体进行了X射线拍摄的情况的莫尔条纹图案、以及在没有配置被摄体的状态下进行了拍摄的情况的莫尔条纹图案，生成包含对由于通过了被摄体而产生的X射线的相位偏离进行图像化而生成的X射线相位对比图像在内的X射线图像。

在国际公开第2009/104560号那样的X射线拍摄装置中，为了增大一次能够拍摄的视场范围，存在如下需求：想要通过增大配置于X射线图像检测器的上游且是配置于其附近的第2光栅的面积而大范围地形成莫尔条纹图案，来增大拍摄范围。因此，作为使拍摄面积大面积化的方法，想到将多个衍射光栅(单位衍射光栅)固定于通用的基板来谋求大面积化的方法。

在此，在国际公开第2009/104560号那样的X射线拍摄装置中，在以将多个衍射光栅(单位衍射光栅)配置于通用的基板的方式构成了第2光栅的情况下，通过使利用第1光栅发生了衍射的X射线利用第2光栅再次发生衍射，从而生成了莫尔条纹图案。然而，在国际公开第2009/104560号那样的X射线拍摄装置中，在没有调整成第2光栅中的多个衍射光栅的光栅所延伸的方向一致的状态的情况下，存在如下问题点：由于针对每个衍射光栅而言，莫尔条纹图案有所不同，因此导致产生X射线图像发生变形等图像质量的劣化。

发明内容

本发明是为了解决上述那样的问题而做成的，本发明的目的之一在于，提供一种谋求大面积化、并且能够抑制X射线图像的伴随着莫尔条纹的形状的差异而产生的图像质量的劣化的衍射光栅的制造方法。

为了达成上述目的，本发明的一个技术方案的衍射光栅的制造方法具备如下工序：利用投影到多个单位衍射光栅的周期性的图案和多个单位衍射光栅生成莫尔条纹；以及基于所生成的莫尔条纹的形状，使多个单位衍射光栅中的至少1个单位衍射光栅相对于多个单位衍射光栅中的其他至少1个单位衍射光栅相对地旋转，从而调整成光栅所延伸的方向一致的状态。

在本发明的一个技术方案的衍射光栅的制造方法中，如上所述，构成为具备如下工序：基于所生成的莫尔条纹的形状，使多个单位衍射光栅中的至少1个单位衍射光栅相对于多个单位衍射光栅中的其他至少1个单位衍射光栅相对地旋转，从而调整成光栅所延伸的方向一致的状态。通过该工序，能够制造以多个单位衍射光栅中的至少两个单位衍射光栅的莫尔条纹的形状成为同等的方式配置的衍射光栅。其结果，能够避免由莫尔条纹的形状的差异导致的图像质量的劣化，并且谋求衍射光栅的大面积化。另外，与使用显微镜和标记来对多个单位衍射光栅的光栅所延伸的方向直接进行调整的情况不同，能够基于实际形成的莫尔条纹的形状来对多个单位衍射光栅的光栅所延伸的方向进行调整。由此，能够可靠地抑制多个单位衍射光栅的光栅所延伸的方向产生偏离。