[发明专利]双工器

权利要求书

1.一种双工器，其特征在于，包括：衬底、第一电极、压电层、第二电极，其中，

所述第一电极，位于所述衬底上，所述第一电极的一部分与所述衬底之间具有声波谐振部；

所述压电层，位于所述第一电极上；

所述第二电极的一部分位于所述压电层上；

所述声波谐振部、所述第一电极、所述压电层、所述第二电极位于所述压电层上的一部分构成至少一个薄膜体声波谐振器；

所述压电层与所述第一电极或所述第二电极中的至少一个构成至少一个声表面波谐振器。

2.根据权利要求1所述的双工器，其特征在于，所述衬底具有凹槽，所述第一电极的一部分覆盖所述凹槽形成空腔，所述空腔作为所述声波谐振部。

3.根据权利要求1所述的双工器，其特征在于，还包括：位于所述衬底和所述第一电极之间的声学反射镜，其中，所述声学反射镜为所述声波谐振部。

4.根据权利要求3所述的双工器，其特征在于，所述声学反射镜包括至少两层声阻抗材料。

5.根据权利要求4所述的双工器，其特征在于，所述至少两层声阻抗材料为第一声阻抗材料和第二声阻抗材料交替构成，其中，所述第一声阻抗材料的声阻抗小于所述第二声阻抗材料。

6.根据权利要求1所述的双工器，其特征在于，所述第一电极构成所述声表面波谐振器的叉指换能器和反射栅，或者，所述第二电极构成所述声表面波谐振器的叉指换能器和反射栅。

7.根据权利要求6所述的双工器，其特征在于，所述第一电极在所述衬底上间隔设置的部分构成所述声表面谐振器的叉指换能器和反射栅。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的双工器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极的材料为以下至少之一：钼、钨、铝；和/或，所述压电层的材料为以下至少之一：氮化铝、氧化锌、PZT；和/或，所述衬底的材料包括以下至少之一：硅、玻璃、蓝宝石、GaAs。

9.根据权利要求8所述的双工器，其特征在于，在压电材料上层或下层还具有压电或非压电材料，用来调节声波的传播速度和谐振器的机电耦合系数。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的双工器，其特征在于，所述至少一个薄膜体声波谐振器组成发送滤波器；所述至少一个声表面波谐振器构成接收滤波器，所述接收滤波器包括至少两个极性相反的叉指换能器。