[发明专利]线圈组件及其制造方法有效
申请号: | 201810076810.3 | 申请日: | 2018-01-26 |
公开(公告)号: | CN108987039B | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 柳正杰;文炳喆;金范锡;奉康昱;张振赫 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H01F17/04 | 分类号: | H01F17/04;H01F27/28;H01F27/30;H01F27/32;H01F41/04 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 汪喆;韩芳 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 线圈 组件 及其 制造 方法 | ||
公开了一种线圈组件及其制造方法。所述线圈组件包括:支撑构件;以及线圈图案,设置在所述支撑构件的至少一个表面上。所述线圈图案包括第一线圈层和设置在所述第一线圈层上的第二线圈层。所述第二线圈层包括具有与所述第一线圈层的宽度相同的宽度的下区域以及具有比所述第一线圈层的宽度大的宽度的上区域。
本申请要求于2017年6月5日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0069757号韩国专利申请的优先权的权益,所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
技术领域
本公开涉及一种线圈组件以及一种制造该线圈组件的方法。
背景技术
根据在诸如智能手机和平板个人计算机(PC)等的便携式装置的性能方面的改进,显示屏已经增大了尺寸,从而需要更快的应用处理器(AP)。同时,由于双核处理器或四核处理器的使用,增大了功耗。因此,主要用在直流(DC)到DC转换器和噪声滤波器等中的薄膜型电感器需要具有高电感值和低DC电阻。
另外,根据信息技术(IT)的发展,各种电子装置的小型化和薄型化已经加速。因此,用在这些电子装置中的薄膜型电感器的小型化和薄型化也已经被持续需要。
根据这样的趋势,已经持续进行各种尝试以提供具有均匀且具备高的高宽比的线圈图案的薄膜型电感器。
发明内容
本公开的一方面提供了一种具有高的高宽比和稳定的结构的线圈组件以及一种制造该线圈组件的方法。
根据本公开的一方面,一种线圈组件包括:支撑构件;以及线圈图案,设置在所述支撑构件的至少一个表面上。所述线圈图案包括第一线圈层和设置在所述第一线圈层上的第二线圈层。所述第二线圈层包括具有与所述第一线圈层的宽度相同的宽度的下区域以及具有比所述第一线圈层的宽度大的宽度的上区域。
根据本公开的另一方面,一种制造线圈组件的方法包括:准备支撑构件;在所述支撑构件的至少一个表面上形成金属层;以及在所述金属层上形成第一抗蚀剂。所述第一抗蚀剂具有开口图案,开口图案具有线圈形状。所述方法还包括在所述第一抗蚀剂上形成第二抗蚀剂。第二抗蚀剂具有第二开口图案,所述第二开口图案具有比所述第一开口图案的宽度大的宽度并且具有线圈形状。所述方法还包括在所述第一开口图案和所述第二开口图案中设置导电金属以及通过去除所述第一抗蚀剂和所述第二抗蚀剂以及所述金属层的设置在所述第一抗蚀剂下面的区域来形成线圈图案。
附图说明
通过下面结合附图进行的详细描述,将更清楚地理解本公开的以上和其他方面、特征和优点,在附图中:
图1是示出根据本公开的实施例的线圈组件的示意性透视图;
图2是示出根据本公开的实施例的线圈组件的示意性透视图,使得线圈组件的线圈图案是可见的;
图3是沿图2的线I-I'截取的示意性截面图;
图4是示出根据本公开的另一实施例的线圈组件的示意性截面图;
图5A和图5B是示出图4的线圈组件的多个变型示例的示图;
图6A至图6H是示出使用根据本公开的实施例的制造线圈组件的方法在制造图1的线圈组件的各阶段时的线圈组件的示图;
图7A至图7I是示出使用根据本公开的另一实施例的制造线圈组件的方法在制造图1的线圈组件的各阶段时的线圈组件的示图。
具体实施方式
以下,将参照附图来描述本公开的实施例。在附图中,为了清楚起见,可夸大或缩小组件的形状和尺寸等。
然而,本公开可以以许多不同的形式来例示并且不应解释为局限于在这里阐述的特定实施例。更确切的说,提供这些实施例使得本公开将是彻底的且完整的,并且将向本领域技术人员充分地传达公开的范围。
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