[发明专利]超声波振动元件和超声波传感器有效
申请号: | 201810068187.7 | 申请日: | 2018-01-24 |
公开(公告)号: | CN108389958B | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 松纳 | 申请(专利权)人: | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083 |
代理公司: | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人: | 杨冬梅;张行知 |
地址: | 611730 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超声波 振动 元件 超声波传感器 | ||
1.一种超声波振动元件,用于接收外部驱动电压以发出超声波,所述超声波振动元件包括:
压电层层叠组件;
所述压电层层叠组件包括层叠的至少两层压电材料层;所述压电材料层的极化方向以交替地反转地方式在所述压电材料层的厚度方向上分层分布;
所述压电层层叠组件还包括层叠于所述压电材料层表面的导电层;所述导电层用于使所述至少两层压电材料层以互相串联或并联的方式接收外部驱动电压;
所述压电材料层的极化方向包括:
在厚度方向上依次分布的第一极化方向、第二极化方向;
其中,所述第一极化方向、第二极化方向彼此互为反转方向且均与电压施加方向平行;
其中,所述压电层层叠组件至少包括依次层叠的第一压电材料层和第二压电材料层,若所述超声波振动元件工作在发射模式,则所述第一压电材料层和所述第二压电材料层均发射出超声波,若所述超声波振动元件工作在接收模式,则所述第二压电材料层发射出超声波。
2.根据权利要求1所述的超声波振动元件,其特征在于,所述压电材料层采用的材料为压电陶瓷、有机压电材料、压电复合材料中的一种。
3.根据权利要求1所述的超声波振动元件,其特征在于,所述压电材料层包括第一表面、第二表面,所述第一表面、第二表面均层叠所述导电层。
4.根据权利要求1所述的超声波振动元件,其特征在于,相邻的至少两层所述压电材料层构成压电材料层组,所述压电材料层组包括第一表面、第二表面,所述第一表面、第二表面均层叠所述导电层。
5.根据权利要求1所述的超声波振动元件,其特征在于,进一步包括基板,所述压电层层叠组件均位于所述基板的同一侧。
6.根据权利要求1所述的超声波振动元件,其特征在于,所述导电层层叠于所述压电材料层表面的层叠方式包括:涂覆和/或层压方式。
7.根据权利要求1所述的超声波振动元件,其特征在于,所述压电层层叠组件具有以使自身的共振频率与超声波频率间的差值低于设定阈值的厚度。
8.根据权利要求1所述的超声波振动元件,其特征在于,所述压电材料层层叠于所述导电层表面或另一所述压电材料层表面的层叠方式包括:涂覆和/或层压方式。
9.一种超声波传感器,包括权利要求1至8中任一项所述的超声波振动元件。
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