[发明专利]一种片上集成紧凑型宽带功分器

权利要求书

1.一种片上集成紧凑型宽带功分器，其特征在于，包括：

输入端口，用于输入微波信号；

输入端阻抗变换节，所述输入端阻抗变换节为由电容和电感组成的阻抗变换节，设置于所述输入端口处，所述输入端阻抗变换节为集总型的π形LC等效电路，由片上螺线电感和片上电容组成；

传输部件，所述传输部件与所述输入端阻抗变换节连接并将所述输入微波信号分成至少2路微波分支信号；

输出端口，用于输出所述至少2路微波分支信号，所述输出端口个数与所述微波分支信号的路数相匹配；

输出端阻抗变换节，所述输出端阻抗变换节为由电容和电感组成的阻抗变换节，连接于对应的所述输出端口与传输部件之间，所述输出端阻抗变换节的个数与所述输出端口的个数相匹配，所述输出端阻抗变换节为集总型的π形LC等效电路，由片上螺线电感和片上电容组成。

2.根据权利要求1所述的片上集成紧凑型宽带功分器，其特征在于，还包括隔离电阻，相邻两输出端口之间连接有所述隔离电阻。

3.根据权利要求1所述的片上集成紧凑型宽带功分器，其特征在于，所述输入端口和所述输出端口为共面波导。

4.根据权利要求1所述的片上集成紧凑型宽带功分器，其特征在于，所述传输部件将所述输入微波信号分成3路微波分支信号，所述输出端口个数为3个。

5.根据权利要求4所述的片上集成紧凑型宽带功分器，其特征在于，所述3个输出端阻抗变换节的等效电路相同，片上螺线电感值均为518pH，片上电容值均为122.5fF。

6.根据权利要求1所述的片上集成紧凑型宽带功分器，其特征在于，所述输入端阻抗变换节的片上螺线电感值为300pH，片上电容值为211fF。

7.根据权利要求1所述的片上集成紧凑型宽带功分器，其特征在于，所述片上集成紧凑型宽带功分器包括四层微纳加工工艺层，由上到下分别为隔离电阻层、上电极层、SiO2绝缘层和底电极层。

8.根据权利要求7所述的片上集成紧凑型宽带功分器，其特征在于，所述传输部件为所述底电极和所述上电极构成的十字通路，所述传输部件一端与所述输入端口连接，所述传输部件另外三端与所述输出端口连接。